# IZHH Laborausrüstung | PECVD

Abgelaufen · Teilnahmewettbewerb

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik in Hamburg ausgeschrieben. Teilnahmeanträge waren bis 19.01.2024 möglich. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr)
- Was: Labor- und Messtechnik: IZHH Laborausrüstung | PECVD
- Wo: Hamburg
- Bis wann: Teilnahmeantrag bis 19.01.2024, 14:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab. Für KMU geeignet laut Bekanntmachung.
- Vergabeunterlagen: https://www.subreport.de/E29611987
- Vergabeplattform: [subreport.de](https://vergabeweiser.de/plattform/subreport)

## Leistungsumfang

Das Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK) hat dem DLR Mittel zur Verfügung gestellt, um deutsche Quantencomputer zu entwickeln und das damit verbundene ökonomische Umfeld aufzubauen. Die Quantencomputing Initiative des DLR bündelt die vorhandenen anwendungsnahen Kompetenzen im Quantencomputing und baut zusammen mit Partnern aus der Wirtschaft eine industrielle Basis auf. Die Initiative wird Hardware, Software, Anwendungen und die notwendige Zulieferkette entwickeln. Es werden unterschiedlichen Technologien zum Bau eines Quantencomputers als komplementäre Ansätze verfolgt. Deutschlandweit werden Industriepartner, Start-ups und Forschungsgruppen eingebunden und die Gründerszene in der Quantentechnologie aktiviert. Die Initiative etabliert zwei Innovationszentren in Hamburg und Ulm um Industrie, Forschung und AnwenderInnen unter einem Dach zusammen zu bringen. Im Innovationszentrum Hamburg werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Für die Abscheidung dielektrischer Schichten wird eine Anlage zur plasmaunterstützen chemischen Gasphasenabscheidung (plasma-enhanced chemical vapor deposition PECVD) benötigt. Mit diesem Verfahren sollen amorphe SiO2, SiNx, Si und SiC Schichten auf 150 mm Wafern abgeschieden werden. Weitere Details sind der Anlage 01 Leistungsbeschreibung der Vergabeunterlagen zu entnehmen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer des Bundes
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: f334cc1c-35e2-4cd4-8ed5-5b76a0ef38cc

## Verlauf

- 22.12.2023: Ausschreibung veröffentlicht

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [Quanten Frequenz Konverter](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/quanten-frequenz-konverter-19cbbd33) · Zuschlag 18.09.2026 an Einzelunternehmen aus Aachen · 2 Angebote
- [795nm Laser System](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/795nm-laser-system-9a1fa9f6) · Zuschlag 07.09.2026 an TOPTICA Photonics SE · 1 Angebot
- [Laserlithographie](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/laserlithographie-74b4b6a8) · Zuschlag 25.08.2026 an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH · 2 Angebote
- [Pikosekunden-Lasersystem mit variabler Pulsdauer](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/pikosekunden-lasersystem-mit-variabler-pulsdauer-6865ed63) · Zuschlag 31.03.2026 an APE Angewandte Physik und Elektronik GmbH · 1 Angebot
- [DRIE-Anlage](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/drie-anlage-024398be) · Zuschlag 23.03.2026 an Oxford Instruments GmbH · 1 Angebot
- [MOT Laser System](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/mot-laser-system-5b16e0d5) · Zuschlag 23.01.2026 an Einzelunternehmen aus Heraklion · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Hamburg](https://vergabeweiser.de/region/hamburg): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 22.12.2023, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=f334cc1c-35e2-4cd4-8ed5-5b76a0ef38cc. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/izhh-laborausruestung-pecvd-f334cc1c