# IZHH Laborausrüstung | IBE

Abgelaufen · Teilnahmewettbewerb

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik in Ulm ausgeschrieben. Teilnahmeanträge waren bis 31.01.2024 möglich. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr)
- Was: Labor- und Messtechnik: IZHH Laborausrüstung | IBE
- Wo: Ulm, Baden-Württemberg
- Bis wann: Teilnahmeantrag bis 31.01.2024, 14:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab. Für KMU geeignet laut Bekanntmachung.
- Vergabeunterlagen: https://www.subreport.de/E53939393
- Vergabeplattform: [subreport.de](https://vergabeweiser.de/plattform/subreport)

## Leistungsumfang

Im Innovationszentrum Hamburg werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Beschreibung Zur Strukturierung insbesondere von metallischen Schichten wird eine Anlage zum Ionenstrahlätzen (ion beam etching IBE) benötigt. Diese soll als Prozesse auch das reaktive Ionenstrahlätzen (reactive ion beam etching RIBE) und das chemisch unterstütze Ionenstrahlätzen (chemically assisted ion beam etching CAIBE) unterstützen. Mit den Verfahren sollen unter anderem Au, Al und SiO2 Dünnschichten auf 150 mm Wafern mittels Lackmaske struk-turiert werden. Auftragsgegenstand • Anlage inkl. Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung • Service und Wartung Weitere Details zur Leistung entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen in der Anlage 02 LB_IBE.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer des Bundes
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: de9d3a20-46e6-4b51-84ab-95689e791510

## Verlauf

- 02.01.2024: Ausschreibung veröffentlicht
- 06.01.2024: Ausschreibung veröffentlicht · In der Anlage 01 ist die Leistung vertauscht worden. Die Anlage 02_Leistungsbeschreibung enthält die zu beschaffende Leistung. Das Dokument 01 ist ausgetauscht und erhält mit heutigem Datum (2024-01-04) die richtige Leistungsbeschreibung. Die Leistung ist am Standort in Hamburg zu erbringen.

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [Quanten Frequenz Konverter](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/quanten-frequenz-konverter-19cbbd33) · Zuschlag 18.09.2026 an Einzelunternehmen aus Aachen · 2 Angebote
- [795nm Laser System](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/795nm-laser-system-9a1fa9f6) · Zuschlag 07.09.2026 an TOPTICA Photonics SE · 1 Angebot
- [Laserlithographie](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/laserlithographie-74b4b6a8) · Zuschlag 25.08.2026 an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH · 2 Angebote
- [Pikosekunden-Lasersystem mit variabler Pulsdauer](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/pikosekunden-lasersystem-mit-variabler-pulsdauer-6865ed63) · Zuschlag 31.03.2026 an APE Angewandte Physik und Elektronik GmbH · 1 Angebot
- [DRIE-Anlage](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/drie-anlage-024398be) · Zuschlag 23.03.2026 an Oxford Instruments GmbH · 1 Angebot
- [MOT Laser System](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/mot-laser-system-5b16e0d5) · Zuschlag 23.01.2026 an Einzelunternehmen aus Heraklion · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Ulm](https://vergabeweiser.de/region/baden-wuerttemberg/ulm): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 06.01.2024, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=752a58a5-47eb-474e-9c1d-5d9f0213674b. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/izhh-laborausruestung-ibe-de9d3a20