# Ionenstrahlätzanlage

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Jena am 29.09.2025 vergeben, Zuschlag an scia Systems GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 1.191.182,88 €. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/leibniz-institut-fuer-photonische-technologien-ev)
- Was: Labor- und Messtechnik: Ionenstrahlätzanlage
- Wo: Jena, Thüringen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 01.10.2025 bis 15.12.2026
- Zuschlag an: scia Systems GmbH
- Zuschlag am: 29.09.2025
- Summe: 1.191.182,88 €
- Angebote: 1

## Gewinner

- [scia Systems GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/scia-systems-gmbh), Chemnitz

## Leistungsumfang

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtstrukturierung und -abscheidung eine Ionenstrahlätz- und Beschichtungsanlage aus, welche zum Ätzen und Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Ätzprozesse verschiedener metallischer, halbleitender und isolierender Schichten sowie das Abscheiden metallischer und isolierender Schichten ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen). Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 1.189.000 €
- Bindefrist: 40 Tage nach Angebotsfrist
- Nachprüfung: Thüringer Landesverwaltungsamt / Geschäftsstelle der Vergabekammer
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: dec95ada-10d0-4dd2-9e37-2a339dd0bf26

## Verlauf

- 07.08.2025: Ausschreibung veröffentlicht
- 02.10.2025: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat scia Systems GmbH erhalten, Summe 1.191.182,88 €.

## Weitere Zuschläge dieses Auftraggebers

- [ALD-Anlage](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/ald-anlage-22a26e70) · Zuschlag 18.09.2026 an SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH · 5 Angebote
- [Interferometrisch überwachtes Tm-Hochleistungslasersystem für IR-FRS](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/interferometrisch-ueberwachtes-tm-hochleistungslasersystem-fuer-ir-frs-3e971d00) · Zuschlag 11.08.2026 an Active Fiber Systems GmbH · 1 Angebot
- [Neubau Biophotonik - Gebäude - VE4420 Blitzschutz](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/neubau-biophotonik-gebaeude-ve4420-blitzschutz-ea4564ba) · Zuschlag 27.02.2026 an Einzelunternehmen aus Zeulenroda-Triebes · 5 Angebote
- [Neubau Biophotonik-Gebäude - VE3200 Rohbau](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/neubau-biophotonik-gebaeude-ve3200-rohbau-a7f5c232) · Zuschlag 27.02.2026 an FUCHS Bau GmbH · 10 Angebote
- [Neubau Biophotonik - Gebäude - VE3900 Baustelleneinrichtung](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/neubau-biophotonik-gebaeude-ve3900-baustelleneinrichtung-391b3201) · Zuschlag 23.02.2026 an griep Baulogistik GmbH · 6 Angebote
- [NIR-Dauerstrichlaser](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/nir-dauerstrichlaser-996fc641) · Zuschlag 02.02.2026 an TOPTICA Photonics SE · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Jena](https://vergabeweiser.de/region/thueringen/jena): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/leibniz-institut-fuer-photonische-technologien-ev): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 02.10.2025, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

Fehler melden: https://vergabeweiser.de/fehler-melden?seite=https%3A%2F%2Fvergabeweiser.de%2Fausschreibung%2Fionenstrahlaetzanlage-dec95ada

---
Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=4a54e946-f7d6-40bc-84d8-ac6be6379202. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/ionenstrahlaetzanlage-dec95ada