# Ion Beam Etching Tool

Zuschlag erteilt

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.… hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Duisburg am 11.04.2019 vergeben, Zuschlag an scia Systems GmbH. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
- Was: Maschinen und Geräte: Ion Beam Etching Tool
- Wo: Duisburg, Nordrhein-Westfalen
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 5 Monate
- Zuschlag an: scia Systems GmbH
- Zuschlag am: 11.04.2019
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 2

## Gewinner

- [scia Systems GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/scia-systems-gmbh), Chemnitz

## Leistungsumfang

The Fraunhofer IMS requires a new Ion Beam Etching Tool (IBE Tool). In this IBE Tool 8” (200 mm) wafers can be etched according to the specifications in the specifications. The IBE-Tool is used for sputter etching under different ion beam incidence angles and is equipped with the technical requirements for an automatized endpoint detection during etch processes.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: 493410-2018

## Verlauf

- 09.11.2018: Ausschreibung veröffentlicht
- 15.04.2019: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat scia Systems GmbH erhalten.

## Weitere Zuschläge: Maschinen und Geräte in Nordrhein-Westfalen

- [Großbatteriespeicher (BESS) - Projekt UA Neukirchen](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/grossbatteriespeicher-bess-projekt-ua-neukirchen-15dfa5b9) · Enni Energie & Umwelt Niederrhein GmbH · Zuschlag 05.05.2026 an be.storaged GmbH
- [Lieferung von zwei Linearbeschleunigersystemen inkl. dazugehöriger IT-Systeme und Erbringung dazugehöriger Dienst- und Servicevertragsleistungen](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-von-zwei-linearbeschleunigersystemen-inkl-dazugehoeriger-it-952dec60) · Kliniken der Stadt Köln gGmbH · Zuschlag 24.03.2026 an Varian Medical Systems Deutschland GmbH & Co. KG · 2 Angebote
- [D.LIVE - Rahmenvertrag Arbeitsgeräte, Container, Verkehrssicherung](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/dlive-rahmenvertrag-arbeitsgeraete-container-verkehrssicherung-0f032dd8) · D.LIVE GmbH & Co. KG · Zuschlag 25.02.2026 an Gerken GmbH und 3 weitere · 2–3 Angebote je Los
- [CMP (IMS-02) - PR886487-2380-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/cmp-ims-02-pr886487-2380-p-c17cc0ab) · Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Zuschlag 15.01.2026 an EBARA Precision Machinery Europe GmbH · 1 Angebot
- [Einführung eines ID-basierten Ticketings - Bargeld- und papierloser ÖPNV im Bediengebiet der Rheinbahn AG](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/einfuehrung-eines-id-basierten-ticketings-bargeld-und-papierloser-58f558e5) · Rheinbahn AG · Zuschlag 04.11.2025 an krauth technology GmbH · 4 Angebote
- [Additive Manufacturing - Lieferung von Verbrauchsmaterialien und Drucker](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/additive-manufacturing-lieferung-von-verbrauchsmaterialien-und-drucker-0147a435) · DB Fahrzeuginstandhaltung GmbH · Zuschlag 07.04.2025 an IGO3D GmbH · 1 Angebote je Los

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Duisburg](https://vergabeweiser.de/region/nordrhein-westfalen/duisburg): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Ausschreibungen der Fraunhofer-Gesellschaft](https://vergabeweiser.de/thema/fraunhofer): Ausschreibungen und Zahlen
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 15.04.2019, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

Fehler melden: https://vergabeweiser.de/fehler-melden?seite=https%3A%2F%2Fvergabeweiser.de%2Fausschreibung%2Fion-beam-etching-tool-4934102018

---
Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/175169-2019. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/ion-beam-etching-tool-4934102018