# Installation ALD-Hybrid Beschichtungsanlage

Abgelaufen · Teilnahmewettbewerb

Laser Zentrum Hannover e.V. hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik ausgeschrieben. Teilnahmeanträge waren bis 13.01.2018 möglich. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Laser Zentrum Hannover e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/laser-zentrum-hannover-ev)
- Was: Labor- und Messtechnik: Installation ALD-Hybrid Beschichtungsanlage
- Wo: Niedersachsen
- Bis wann: Teilnahmeantrag bis 13.01.2018, 16:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 10 Monate
- Vergabeunterlagen: https://www.dtvp.de/Center/notice/CXP4YM4YL4C
- Vergabeplattform: [dtvp.de](https://vergabeweiser.de/plattform/dtvp)

## Leistungsumfang

Es ist das Ziel, den Atomic Layer Deposition (ALD) Beschichtungsprozess mit einem zweiten Schichtwachstumsprozess der PVD-Kategorie (Physical Vapor Deposition) zu kombinieren. Zu diesem Zweck solle ein vollausgestatteter ALD Prozess, inkl. eines thermischen und plasmaaktivierten ALD, in ein Clustertool integriert werden. Zusätzlich zur ALD Prozesskammer soll das Clustertool ein Load-Lock-System beinhalten, eine automatisierte Transfereinheit, um die Substratpalette zwischen ALD und PVD Prozess zu transferieren, sowie eine zweite Beschichtungskammer. Der Auftraggeber wird diese zweite Kammer nach Auslieferung mit weiterer Ausstattung versehen, um die voll funktionierende Hybridanlage fertigzustellen. Das Hybridsystem soll am Ende Einzelschichten aus beiden Prozessen zu einem komplexen Mehrschichtsystem zusammenführen können, ohne das Vakuum zu brechen. Der ALD Prozess und der automatische Probentransfer werden bei Auslieferung voll funktionstüchtig sein.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Nicht offenes Verfahren (national)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Amtsgericht Hannover
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 497812-2017

## Verlauf

- 14.12.2017: Ausschreibung veröffentlicht

## Weitere Zuschläge

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## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Niedersachsen](https://vergabeweiser.de/region/niedersachsen): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Laser Zentrum Hannover e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/laser-zentrum-hannover-ev): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Beschränkte Ausschreibung](https://vergabeweiser.de/wissen/beschraenkte-ausschreibung): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 14.12.2017, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 01.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/497812-2017. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/installation-ald-hybrid-beschichtungsanlage-4978122017