# Informationseinholung im Rahmen einer MARKTERKUNDUNG / MPG-MPL-240024 Beschaffung Mask aligner system

Abgelaufen

- Auftraggeber: [Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/max-planck-institut-fuer-die-physik-des-lichts)
- Was: Labor- und Messtechnik: Informationseinholung im Rahmen einer MARKTERKUNDUNG / MPG-MPL-240024 Beschaffung Mask aligner system
- Wo: Erlangen, Bayern
- Bis wann: siehe Unterlagen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.

## Leistungsumfang

Es handelt sich nicht um ein Vergabeverfahren! Es ist eine unverbindliche Informationsabfrage, die allein der Markterkundung gemäß § 20 Unterschwellenvergabeverordnung (UVgO) dient. Das Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts beabsichtigt den Kauf eines Mask-Aligners mit nachfolgenden Spzifikationen: Der Mask Aligner muss alle Werkzeuge enthalten, die zur Steuerung des gesamten Mikrofabrikationsprozesses vom Laden der Wafer bis zur Belichtung erforderlich sind. Im Einzelnen: - Maskenhalter zum Laden von 5" und 7" quadratischen Chrom-Fotomasken und flexiblen Film-Fotomasken - Ein einzelner Probenhalter zum Laden von Substraten unterschiedlicher Größe, einschließlich Siliziumwafern bis zu 6“ - Ein Ausrichtungssystem mit einer XYZ-Substratverschiebungsauflösung von weniger als 0,5 µm zur Steuerung der Maskenposition relativ zum Substrat mit einer Ausrichtungsgenauigkeit von 1 µm. - Ausgestattet mit einer UV-LED-Quelle (Wellenlänge 365±5 nm), die im kontinuierlichen oder gepulsten Modus arbeitet und eine qualitativ hochwertige Kollimation (Divergenzwinkel von weniger als 2º) bietet, mit der Auflösungen von bis zu 1 µm erreicht werden können, ohne dass ein Vakuumkontaktmodus erforderlich ist, und mit einer homogenen Belichtung (±5% Abweichung) über einen Bereich von 6“. - Ein Antivibrationstisch für den stabilen Betrieb des Instruments Sofern Sie die oben beschriebene Leistung anbieten können, bitten wir um Zusendung aussagekräftiger Unterlagen und Referenzen bis spätestens 06.08.2024, 12:00 Uhr. Mask aligner system, UV exposure system

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: nicht angegeben (national)
- Art des Auftrags: nicht angegeben
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 22422568

## Verlauf

- 25.07.2024: Ausschreibung veröffentlicht

## Weitere Zuschläge

- [Prober 300mm (IAF-09.3) - PR971253-2050-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/prober-300mm-iaf-093-pr971253-2050-p-e613db78) · Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Zuschlag 21.04.2026 an FormFactor GmbH · 5 Angebote
- [Softwareentwicklung Netzwerkmanagement-System](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/softwareentwicklung-netzwerkmanagement-system-6367a233) · Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts · Zuschlag 16.04.2026 an Infosim GmbH & Co. KG · 1 Angebot
- [Beschaffung Blutgasanalysegeräte](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/beschaffung-blutgasanalysegeraete-a23457b0) · Klinikum St. Marien Anstalt des öffentlichen Rechts der Stadt Amberg · Zuschlag 07.04.2026 an Radiometer GmbH · 1–3 Angebote je Los
- [Ausschreibung zur Automatisierung des Zentrallabors (Los 1) und zur Automatisierung des Laborbereichs allgemeine und spezielle Hämostaseologie (Gerinnung) (Los 2)](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/ausschreibung-zur-automatisierung-des-zentrallabors-los-1-und-zur-07dcc4c9) · Klinikum Passau · Zuschlag 09.02.2026 an Roche Diagnostics Deutschland GmbH und Sysmex Deutschland GmbH · 4 Angebote je Los
- [Power Meas. System (IAF-09.2) - PR972030-2050-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/power-meas-system-iaf-092-pr972030-2050-p-8d1cd3be) · Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Zuschlag 02.12.2025 an Hitech BV · 5 Angebote
- [Infrarot Laser Mikroskop/Infrared Laser Microscope - AISEC-2025-0022-PR1036061](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/infrarot-laser-mikroskopinfrared-laser-microscope-aisec-2025-0022-368177dd) · Fraunhofer-Institut für Angewandte und Integrierte Sicherheit AISEC · Zuschlag 22.10.2025 an Einzelunternehmen aus TALENCE · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Erlangen](https://vergabeweiser.de/region/bayern/erlangen): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/max-planck-institut-fuer-die-physik-des-lichts): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Vergabearten](https://vergabeweiser.de/wissen/vergabearten): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 25.07.2024, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=22422568. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/informationseinholung-im-rahmen-einer-markterkundung-mpg-mpl-240024-22422568