# IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer

Abgelaufen · Teilnahmewettbewerb

Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen… hat einen Auftrag für Maschinen und Geräte in Stuttgart ausgeschrieben. Teilnahmeanträge waren bis 30.06.2026 möglich. Ergebnis noch nicht veröffentlicht.

- Auftraggeber: [Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/institut-fuer-mikroelektronik-stuttgart-stiftung-des-buergerlichen-rechts)
- Was: Maschinen und Geräte: IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer
- Wo: Stuttgart, Baden-Württemberg
- Bis wann: Teilnahmeantrag bis 30.06.2026, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 24 Monate
- Vergabeunterlagen: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YMZMS7W/documents
- Vergabeplattform: [dtvp.de](https://vergabeweiser.de/plattform/dtvp)

## Leistungsumfang

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: da9a78aa-67d8-4840-8c93-934615624feb

## Verlauf

- 29.05.2026: Ausschreibung veröffentlicht

## Zuschläge: Maschinen und Geräte in Baden-Württemberg

- [Lieferung Netzqualitätsüberwachungsschränke für vier Umrichterwerke](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-netzqualitaetsueberwachungsschraenke-fuer-vier-c9088a4f) · DB Energie GmbH · Zuschlag 23.10.2026 an Gesa Consulting Gesellschaft für - EMV-Technik mbH · 2 Angebote je Los
- [CMP-System für 100/150‑mm‑Wafer (IAF-03) - PR1199438-2050-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/cmp-system-fuer-100150mmwafer-iaf-03-pr1199438-2050-p-6e0f0048) · Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Zuschlag 25.08.2026 an Einzelunternehmen aus München · 2 Angebote
- [Radlader mit Schaufel 2-3m³](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/radlader-mit-schaufel-2-3m3-4351de0c) · Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium des Innern, vertreten durch das Beschaffungsamt des BMI · Zuschlag 26.05.2026 an Süddeutsche Baumaschinen Handels GmbH · 4 Angebote
- [Walzenzug UKR](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/walzenzug-ukr-f89cf5e0) · Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium des Innern, vertreten durch das Beschaffungsamt des BMI · Zuschlag 11.05.2026 an Wirtgen Deutschland Vertriebs- und Service GmbH und Z&P Baumaschinen Mietservice GmbH · 4–5 Angebote je Los
- [Verhandlungsvergabe ohne TNWB](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/verhandlungsvergabe-ohne-tnwb-83620d62) · Max-Planck-Institut für Kernphysik · Zuschlag 29.04.2026 an Hamamatsu Photonics Deutschland GmbH · 1 Angebot
- [1x Radlader mit Schaufel für die Ukraine](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/1x-radlader-mit-schaufel-fuer-die-ukraine-0174814c) · Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium des Innern, vertreten durch das Beschaffungsamt des BMI · Zuschlag 13.02.2026 an Süddeutsche Baumaschinen Handels GmbH · 3 Angebote

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Stuttgart](https://vergabeweiser.de/region/baden-wuerttemberg/stuttgart): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/institut-fuer-mikroelektronik-stuttgart-stiftung-des-buergerlichen-rechts): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 29.05.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=da9a78aa-67d8-4840-8c93-934615624feb. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/ims-chips-vergabe-einer-belackungs-und-entwicklungsanlage-fuer-wafer-da9a78aa