# IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Steppers/Scanners für optische Lithografie

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen… hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Stuttgart am 28.12.2020 vergeben, Zuschlag an Einzelunternehmen aus Amstelveen. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/institut-fuer-mikroelektronik-stuttgart-stiftung-des-buergerlichen-rechts)
- Was: Labor- und Messtechnik: IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Steppers/Scanners für optische Lithografie
- Wo: Stuttgart, Baden-Württemberg
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 01.08.2020 bis 31.12.2021
- Zuschlag an: Einzelunternehmen aus Amstelveen
- Zuschlag am: 28.12.2020
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 1

## Gewinner

- Einzelunternehmen aus Amstelveen

## Leistungsumfang

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung einer Anlage für optische Lithografie im Step-and-Repeat Verfahren für die Belichtung von 150 mm und 200 mm Wafern für das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS).

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
- CPV-Code: 38520000-6
- CPV-Bezeichnung: [Scanner](https://vergabeweiser.de/cpv/38520000-scanner)
- Bekanntmachungs-ID: 094151-2020

## Verlauf

- 26.02.2020: Ausschreibung veröffentlicht
- 26.03.2021: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Einzelunternehmen aus Amstelveen erhalten.

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- [Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/institut-fuer-mikroelektronik-stuttgart-stiftung-des-buergerlichen-rechts): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
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Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 26.03.2021, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/150081-2021. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/ims-chips-europaweite-vergabe-eines-steppersscanners-fuer-optische-0941512020