# ICPCVD-Beschichtungsanlage

Abgelaufen

Universität Paderborn hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik im Kreis Paderborn ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 16.01.2025. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Universität Paderborn](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/universitaet-paderborn)
- Was: Labor- und Messtechnik: ICPCVD-Beschichtungsanlage
- Wo: Kreis Paderborn, Nordrhein-Westfalen
- Bis wann: Angebotsfrist 16.01.2025, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 10 Monate
- Vergabeunterlagen: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YYPYTYUAN6N8/documents
- Vergabeplattform: [evergabe.nrw.de](https://vergabeweiser.de/plattform/evergabe-nrw)

## Leistungsumfang

Ausgeschrieben wird eine Anlage zur chemischen Gasphasenabscheidung mittels induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-CVD). Die Anlage soll ein Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur darstellen und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Die Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 8 Zoll), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die bei niedrigen Abscheidungsdrücken und -temperaturen (?20°C) mittels der Anlage abgeschiedenen Schichten sollen von hoher Qualität mit geringen Schäden und einer hohen nasschemischen Ätzbeständigkeit sein und eine hohe Konformität bzw. Stufenabdeckung aufweisen. Bei den abzuscheidenden Schichten soll es sich unter anderem um SiO2, Si3N4, SiOxNy, a-Si:H und SiC handeln.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Bindefrist: 60 Tage nach Angebotsfrist
- Nachprüfung: Vergabekammer Westfalen
- CPV-Code: 38970000-5
- CPV-Bezeichnung: [Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft](https://vergabeweiser.de/cpv/38970000-technischer-simulator-fuer-forschung-pruefungen)
- Bekanntmachungs-ID: bcaabe78-c33b-426f-9221-ea90e4fa8fc8

## Verlauf

- 17.12.2024: Ausschreibung veröffentlicht

## Weitere Zuschläge

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## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen im Kreis Paderborn](https://vergabeweiser.de/region/nordrhein-westfalen/kreis-paderborn): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Universität Paderborn](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/universitaet-paderborn): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen von Universitäten und Hochschulen](https://vergabeweiser.de/thema/hochschulen): Ausschreibungen und Zahlen
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 17.12.2024, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=bcaabe78-c33b-426f-9221-ea90e4fa8fc8. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/icpcvd-beschichtungsanlage-bcaabe78