# ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä.

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Friedrich-Schiller-Universität Jena hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Jena am 20.02.2025 vergeben, Zuschlag an SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 681.300 €. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [Friedrich-Schiller-Universität Jena](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/friedrich-schiller-universitaet-jena)
- Was: Labor- und Messtechnik: ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä.
- Wo: Jena, Thüringen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Zuschlag an: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
- Zuschlag am: 20.02.2025
- Summe: 681.300 €
- Angebote: 1

## Gewinner

- [SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/sentech-gesellschaft-fuer-sensortechnik-mbh), Krailling

## Leistungsumfang

Auftragsgegenstand ist eine ICP-RIE-Plasmaätzanlage für die Strukturierung mikro- und nanooptischer Elemente, konkret proportionales und binäres Plasmaätzen in dielektrische, halbleitende Materialien und Funktionsschichten (Quarzglas /fused silica, Silizium, SiOxNy , Siliziumkarbid, hochbrechende Materialien, wie Ta2O5, Nb2O5, etc.) mittels Fluor-basierter Reaktivgasprozesse auch bei, aber nicht ausschließlich kryogenen Temperaturen um -130°C. Die Anlage mit Beladeschleuse (Loadlock, LL) muss das Prozessieren variabler Substratgrößen mittels Carrier ohne großen Bearbeitungs und Zeitaufwand ermöglichen. Ein schneller, variabler Wechsel der Substratelektrodenkühlung zwischen Kühlung mittels Tiefkältethermostat und Flüssig-Stickstoff ist anzustreben. Zumindest muss aber die Möglichkeit einer nachträglichen Umrüstung auf Flüssigstickstoffkühlung ohne bauliche Änderung an der Substratelektrode gegeben sein. Weiteres siehe Anlage 2.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 825.000 €
- Bindefrist: 90 Tage nach Angebotsfrist
- Nachprüfung: Thüringer Landesverwaltungsamt
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 4efd1b54-3f2e-4848-9ce9-507518391f7a

## Verlauf

- 03.12.2024: Ausschreibung veröffentlicht
- 26.02.2025: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH erhalten, Summe 681.300 €.

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- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 26.02.2025, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 04.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=8ce93cb3-cb8c-4b53-a314-bda9aa1c2f53. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/icp-rie-plasmaaetzanlage-fuer-cryogenes-trockenaetzen-von-silizium-4efd1b54