# ICP-Ätzanlage

Abgelaufen

Universität Paderborn hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik im Kreis Paderborn ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 16.01.2025. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Universität Paderborn](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/universitaet-paderborn)
- Was: Labor- und Messtechnik: ICP-Ätzanlage
- Wo: Kreis Paderborn, Nordrhein-Westfalen
- Bis wann: Angebotsfrist 16.01.2025, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 10 Monate
- Vergabeunterlagen: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YYPYTYUJJ5VM/documents
- Vergabeplattform: [evergabe.nrw.de](https://vergabeweiser.de/plattform/evergabe-nrw)

## Leistungsumfang

Ausgeschrieben wird eine Anlage zum reaktiven Ionenätzen mittels induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-RIE). Die Anlage soll ein Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur darstellen und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Die Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 8"), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die Anlage soll möglichst viele unterschiedliche Materialien ätzen können, um eine weite Spanne von Bauelementen realisieren zu können. Dazu gehören Materialien wie Aluminium, Chrom, Lithiumniobat, GaAs, Siliziumdioxid und Silizium.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Bindefrist: 60 Tage nach Angebotsfrist
- Nachprüfung: Vergabekammer Westfalen
- CPV-Code: 38970000-5
- CPV-Bezeichnung: [Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft](https://vergabeweiser.de/cpv/38970000-technischer-simulator-fuer-forschung-pruefungen)
- Bekanntmachungs-ID: b95f149b-72c6-456e-bbf5-cffc9a5d1ee1

## Verlauf

- 17.12.2024: Ausschreibung veröffentlicht

## Weitere Zuschläge

- [Next Generation Firewall des Herstellers Palo Alto](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/next-generation-firewall-des-herstellers-palo-alto-403abe19) · Universität Paderborn · Zuschlag 16.10.2026 an DTS Systeme GmbH · 1 Angebot
- [MPW Prototype production GF 45SPCLO technology](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/mpw-prototype-production-gf-45spclo-technology-fd497ac6) · Universität Paderborn · Zuschlag 07.09.2026 an Racyics GmbH · 2 Angebote
- [Ionenstrahltrimanlage](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/ionenstrahltrimanlage-e3f53ce1) · Universität Paderborn · Zuschlag 22.01.2026 an scia Systems GmbH · 1 Angebot
- [Vollmobile Großröntgenanlage](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/vollmobile-grossroentgenanlage-fa39b56c) · Generalzolldirektion Zentrale Beschaffungsstelle der Bundesfinanzverwaltung · Zuschlag 22.01.2026 an Instech Netherlands B.V. · 3 Angebote je Los
- [Brunnenkamerasystem](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/brunnenkamerasystem-22ebeba2) · Bundesamt für Ausrüstung, Informationstechnik und Nutzung der Bundeswehr · Zuschlag 12.12.2025 an Gullyver Gesellschaft für mobile Inspektionssysteme mbH · 1 Angebot
- [Laboranalysesysteme Zentrallabor](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/laboranalysesysteme-zentrallabor-94cd80e0) · Universitätsklinikum Düsseldorf · Zuschlag 05.08.2025 an Roche Diagnostics Deutschland GmbH · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen im Kreis Paderborn](https://vergabeweiser.de/region/nordrhein-westfalen/kreis-paderborn): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Universität Paderborn](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/universitaet-paderborn): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen von Universitäten und Hochschulen](https://vergabeweiser.de/thema/hochschulen): Ausschreibungen und Zahlen
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 17.12.2024, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=b95f149b-72c6-456e-bbf5-cffc9a5d1ee1. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/icp-aetzanlage-b95f149b