# Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie

Zuschlag erteilt

Friedrich-Schiller-Universität Jena hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Jena am 30.06.2026 vergeben, Zuschlag an Notion Systems GmbH. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 216.125 €. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: [Friedrich-Schiller-Universität Jena](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/friedrich-schiller-universitaet-jena)
- Was: Labor- und Messtechnik: Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie
- Wo: Jena, Thüringen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Zuschlag an: Notion Systems GmbH
- Zuschlag am: 30.06.2026
- Summe: 216.125 €
- Angebote: 2

## Gewinner

- [Notion Systems GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/notion-systems-gmbh), Schwetzingen

## Leistungsumfang

Es soll eine halbautomatische Hotplate zur Temperung von mit Resists beschichteten Substraten für hochauflösende Elektronenstrahllithografie beschafft werden. Die Anlage dient zur definierten Pre- und Post-bake chemisch verstärkter Resists, wie bspw. FEP171, bei denen die Empfindlichkeit wesentlich durch das Temperatur Zeit Profil und die Temperatur-Homo genität bestimmt wird. Zu prozessierende Substrate umfassen u.a. 300mm-Wafer, sowie rechteckiger Glas-Substrate bis zu L x B x H = 300mm × 275mm × 15mm. Aus diesen technischen Randbedingungen ergeben sich die folgenden Anforderungen:, siehe Anlage 2.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Bindefrist: 30 Tage nach Angebotsfrist
- Nachprüfung: Thüringer Landesverwaltungsamt
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: f8fa207d-e9c3-4b64-b5f0-0494f6f92b79

## Verlauf

- 14.04.2026: Ausschreibung veröffentlicht
- 02.07.2026: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Notion Systems GmbH erhalten, Summe 216.125 €.

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Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 02.07.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 01.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=8e39aa13-68f0-4a3d-9072-f8373c0983ab. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/hotplate-zur-temperung-grossflaechiger-substrate-fuer-f8fa207d