# HF-Gas Phase Etching Tool - PR1052559-2480-W

Ohne Zuschlag beendet

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Dresden nicht vergeben. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Was: Maschinen und Geräte: HF-Gas Phase Etching Tool - PR1052559-2480-W
- Wo: Dresden, Sachsen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 6 Monate
- Vergabeunterlagen: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-19a977e16fc-43ab581cd4b3ca2c
- Vergabeplattform: [vergabe.fraunhofer.de](https://vergabeweiser.de/plattform/vergabe-fraunhofer)

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Bindefrist: 90 Tage nach Angebotsfrist
- Nachprüfung: Vergabekammern des Bundes
- CPV-Code: 42900000-5
- CPV-Bezeichnung: [Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42900000-maschinen-fuer-allgemeine-und-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: 924eea2c-6cb2-4365-80e0-c6269d8475e1

## Verlauf

- 20.11.2025: Ausschreibung veröffentlicht
- 14.04.2026: Ergebnis veröffentlicht

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [Glas and Metal Etch (EMFT-01.2 - EMFT-01.6) - PR1074784-2270-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/glas-and-metal-etch-emft-012-emft-016-pr1074784-2270-p-2bba989e) · Zuschlag 16.07.2026 an Ulvac GmbH · 1 Angebot
- [Wafer Bonder for oxidfree bonding process - PR941467-3340-P (ENAS-05)](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/wafer-bonder-for-oxidfree-bonding-process-pr941467-3340-p-enas-05-2e71b8bd) · Zuschlag 10.07.2026 an EV Group E. Thallner GmbH · 2 Angebote
- [BEoL Layer Transfer, fully automated (IZM-135) - PR1108543-3460-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/beol-layer-transfer-fully-automated-izm-135-pr1108543-3460-p-6128ee12) · Zuschlag 26.05.2026 an EV Group E. Thallner GmbH · 1 Angebot
- [Fully Automated Wafer Cleaning Tool (IZM-130) - PR1097493-3460-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/fully-automated-wafer-cleaning-tool-izm-130-pr1097493-3460-p-78dafdba) · Zuschlag 12.05.2026 an Veeco GmbH · 2 Angebote
- [Single Chamber Cleaning Tool (IZM-137) - PR1094599-3460-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/single-chamber-cleaning-tool-izm-137-pr1094599-3460-p-ec6d8d75) · Zuschlag 12.05.2026 an Veeco GmbH · 2 Angebote
- [Roboter-Fertigungszelle (FlexiRoM) - PR1027541-2170-W](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/roboter-fertigungszelle-flexirom-pr1027541-2170-w-811bb14a) · Zuschlag 18.02.2026 an ibs Automation GmbH · 2 Angebote

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Dresden](https://vergabeweiser.de/region/sachsen/dresden): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Ausschreibungen der Fraunhofer-Gesellschaft](https://vergabeweiser.de/thema/fraunhofer): Ausschreibungen und Zahlen
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 14.04.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=c68d7ba9-6beb-4d5a-9985-296a2a28e74c. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/hf-gas-phase-etching-tool-pr1052559-2480-w-924eea2c
