# Halbautomatisches Kathodenzerstäubungssystem

Zuschlag erteilt

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.… hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Freiburg am 02.04.2020 vergeben, Zuschlag an DREEBIT GmbH. Eingegangen: 5 Angebote.

- Auftraggeber: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
- Was: Maschinen und Geräte: Halbautomatisches Kathodenzerstäubungssystem
- Wo: Freiburg, Baden-Württemberg
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 8 Monate
- Zuschlag an: DREEBIT GmbH
- Zuschlag am: 02.04.2020
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 5

## Gewinner

- [DREEBIT GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/dreebit-gmbh-grossroehrsdorf), Großröhrsdorf

## Leistungsumfang

Die erreichbaren Schichtdicken betragen bis zu 2 μm mit einer Homogenität von ±3 bzw. ±5 %. Das System gestattet zudem eine homogene und präzise Substratemperatur bis 400oC. Durch den integrierten Co-Sputter-Prozess können aus 3 Targets präzise Metalllegierungen und -komposite erzeugt werden. Die Beschichtung kann auf Substraten wie Si, Al2O3, Glas, Saphir, GaAs und Polymerfolien, auf Einzelwafern sowie auf mit Fotolack-strukturierten Substraten erfolgen. Das Handling der Substrate erfolgt dabei automatisch und die Anlage ist für die Beschichtung von funktionalen Materialien wie Pt, Ti, W, Ta, Cr, ITO, Si sowie Si3N4 vorgesehen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: 402117-2019

## Verlauf

- 27.08.2019: Ausschreibung veröffentlicht
- 06.11.2020: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat DREEBIT GmbH erhalten.

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- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 06.11.2020, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/530560-2020. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/halbautomatisches-kathodenzerstaeubungssystem-4021172019