# Grundgasversorgung, Tankfarm und Logistik der Prozessgasversorgung 2021-2024

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Frankfurt (Oder) am 30.06.2021 vergeben, Zuschlag an Air Liquide Electronics GmbH. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 1.200.000 €. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-leibniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik)
- Was: Labor- und Messtechnik: Grundgasversorgung, Tankfarm und Logistik der Prozessgasversorgung 2021-2024
- Wo: Frankfurt (Oder), Brandenburg
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 48 Monate
- Zuschlag an: Air Liquide Electronics GmbH
- Zuschlag am: 30.06.2021
- Summe: 1.200.000 €
- Angebote: 1

## Gewinner

- [Air Liquide Electronics GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/air-liquide-electronics-gmbh-ottendorf-okrilla), Ottendorf-Okrilla

## Leistungsumfang

1. Vorbemerkungen Das IHP erforscht und entwickelt Silizium-basierte Systeme, Höchstfrequenz-Schaltungen und Technologien für Anwendungsbereiche wie drahtlose und Breitbandkommunikation, Luft- und Raumfahrt, Biotechnologie & Medizin, Automobilindustrie, Sicherheitstechnik und Industrieautomatisierung. In diesem Zusammenhang sind halbleiterspezifische Prozesslinien durchgängig, an 24 h, unterbrechungsfrei mit Medien zu versorgen. Das IHP beabsichtigt, die Fortsetzung der Grundgasversorgung und Logistik der Prozessgasversorgung am Standort: Im Technologiepark 25, 15236 Frankfurt (Oder) im Rahmen eines Verhandlungs- verfahrens aus zuschreiben. 2. Leistungsumfang Leistungsumfang ist die unterbrechungsfreie Fortführung der Grundgasversorgung und Logistik der Prozessgasversorgung. In diesem Zusammenhang sucht der AG ein optimales Versorgungskonzept, welches sich unter Einhaltung der rechtlichen und örtlichen Rahmenbedingungen am Erfüllungsort realisieren lässt. In den Leistungszeitraum fällt die Inbetriebnahme der strategischen Reinraumerweiterung, einhergehend mit dem Hook up neuer Prozesstools. Die ausgeschriebene Leistung beinhaltet: — Lieferung, Installation und Betrieb von Anlagen zur Grundgaserzeugung (Onsite-Anlagen) Der Schallleistungspegel dieser Anlagen darf einen Zielwert von 75dB(A) nicht überschreiten. Der eigenständige Stromeinkauf zur Versorgung der Erzeugeranlagen ist zu prüfen; — Errichtung/Betrieb einer Tankfarm; — Lieferung von Bulkgasen; — Lieferung, Installation und Betrieb von Anlagen zur Nachreinigung und Analytik; — Lagerhaltung, Logistik und Flaschenwechsel der Prozessgasversorgung. Es gelten die folgenden Rahmenparameter: 1. Unterbrechungsfreie N2-Versorgung: — Qualität 4.0/6.0 ca. 750 Nm3/h; — Qualität 8.0 ca. 100 Nm3/h. 2. Unterbrechungsfreie H2-Versorgung: — Qualität 8.0 ca. 10 Nm3/h. 3. Unterbrechungsfreie O2-Versorgung: — Qualität 4.0 ca. 3 Nm3/h; — Qualität 8.0 ca. 15 Nm3/h. 4. Unterbrechungsfreie Ar-Versorgung: — Qualität 8.0 ca. 6 Nm3/h. 5. Unterbrechungsfreie He-Versorgung: — Qualität 6.0 ca. 0,2 Nm3/h. Das IHP erwartet die Bereitstellung der Grundgase 1.-5. am point of use. Dabei geht es um das optimale Konzept, mit den möglichen Bestandteilen: Lieferung, Nachreinigung und Erzeugung vor Ort. In diesem Zusammenhang übernimmt der externe Dienstleister auch Betreiberleistungen für folgende Kundenanlagen: — H2-Generator, H2-Reiniger; — Purifiersysteme für N2, O2, Ar; — Online-Analytik. Die Leistung >Logistik der Prozessgasversorgung< beinhaltet die Lagerhaltung, Abruf und Flaschen- wechsel. Ziel ist die kontinuierliche Bereitstellung von Flaschengasen in ca. 30 produktiven z. T. Sicherheits- gasschränken. Es handelt sich hier um Spezialgase für Halbleiter-Technologien, welche auf Grund ihrer Eigenschaften besonderen Sicherheitsanforderungen unterliegen. Die Prozessgase werden über gesonderte Rahmenvereinbarungen beschafft und sind nicht Bestand- teil dieses Verhandlungsverfahrens.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Rahmenvereinbarung: ja
- Nachprüfung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 245540-2020

## Verlauf

- 27.05.2020: Ausschreibung veröffentlicht
- 13.08.2021: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Air Liquide Electronics GmbH erhalten, Summe 1.200.000 €.

## Weitere Zuschläge

- [Softwarepaket für den Entwurf von Höchstfrequenz- und Mikrowellenschaltungen](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/softwarepaket-fuer-den-entwurf-von-hoechstfrequenz-und-4194a2cc) · IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Zuschlag 09.09.2026 an Keysight Technologies Deutschland GmbH · 1 Angebot
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## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Frankfurt (Oder)](https://vergabeweiser.de/region/brandenburg/frankfurt-oder): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-leibniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 13.08.2021, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 04.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/412066-2021. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/grundgasversorgung-tankfarm-und-logistik-der-prozessgasversorgung-2021-2455402020