# Gasphasenzersetzungsanlage und Massenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma

Abgelaufen · Teilnahmewettbewerb

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik in Frankfurt (Oder) ausgeschrieben. Teilnahmeanträge waren bis 10.07.2018 möglich. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-leibniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik)
- Was: Labor- und Messtechnik: Gasphasenzersetzungsanlage und Massenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma
- Wo: Frankfurt (Oder), Brandenburg
- Bis wann: Teilnahmeantrag bis 10.07.2018, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 1 Monat
- Lose: 2 Lose, einzeln anzubieten laut Bekanntmachung
- Vergabeunterlagen: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPCenter/notice/CXSTYYDYYKX
- Vergabeplattform: [vergabemarktplatz.brandenburg.de](https://vergabeweiser.de/plattform/vergabemarktplatz-brandenburg)

## 2 Lose

- Los 1: Gasphasenzersetzungsanlage · Wert, geschätzt nicht angegeben
- Los 2: Massenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma · Wert, geschätzt nicht angegeben

## Leistungsumfang

Massenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma. Für ein hochauflösendes Magnetsektorfeld-Massenspektrometer mit induktiv gekoppelter Plasmaionenquelle (HR-ICPMS), das bei der IHP GmbH für automatisierte Verunreinigungsanalyse von Halbleiterproben installiert werden soll. Im HR-ICPMS werden flüssige Proben, kommend von einer Gasphasenzersetzungsanlage, analysiert. Gasphasenzersetzungsanlage. 1) Ätzmodul zum einseitigen Ätzen des Oxids auf der Si Scheibenoberfläche 2) Scanmodul zum Aufsammeln und Abnehmen der Kontaminationen von der Si Scheibenoberfläche 3) Roboter zum Transport der Si Scheiben von den Kassetten zu den Prozessmodulen und zurück 4) Kassetten Station für 2 offene Si Scheiben Kassetten 5) Rahmen zur partikelfreien Einhausung der Module

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (national)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 247701-2018

## Verlauf

- 09.06.2018: Ausschreibung veröffentlicht

## Weitere Zuschläge

- [Softwarepaket für den Entwurf von Höchstfrequenz- und Mikrowellenschaltungen](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/softwarepaket-fuer-den-entwurf-von-hoechstfrequenz-und-4194a2cc) · IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Zuschlag 09.09.2026 an Keysight Technologies Deutschland GmbH · 1 Angebot
- [300 mm Photonics Prober station and Optical test and measurement system](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/300-mm-photonics-prober-station-and-optical-test-and-measurement-8ed17781) · IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Zuschlag 30.01.2026 an Cascade Microtech GmbH und Keysight Technologies Deutschland GmbH · 1–2 Angebote je Los
- [Broadband vector network analyzer (VNA) system](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/broadband-vector-network-analyzer-vna-system-5ef2a9d4) · IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Zuschlag 20.01.2026 an Keysight Technologies Deutschland GmbH · 1 Angebot
- [IRMS](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/irms-16bb9f43) · Brandenburgische Technische Universität Cottbus - Senftenberg · Zuschlag 08.12.2025 an Elementar Analysensysteme GmbH · 2 Angebote
- [Beschaffung von Controllereinheiten](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/beschaffung-von-controllereinheiten-1c4fd2ec) · Stadtwerke Cottbus GmbH · Zuschlag 27.11.2025 an ABB AG · 1 Angebot
- [Isotopenmassenspektrometer](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/isotopenmassenspektrometer-1666284d) · Leibniz-Zentrum für Agrarlandschaftsforschung (ZALF) e.V. · Zuschlag 06.10.2025 an Thermo Fisher Scientific GmbH · 2 Angebote

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Frankfurt (Oder)](https://vergabeweiser.de/region/brandenburg/frankfurt-oder): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-leibniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Verhandlungsvergabe](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsvergabe): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 09.06.2018, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 04.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/247701-2018. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/gasphasenzersetzungsanlage-und-massenspektrometer-mit-induktiv-2477012018