# Gasphasenzersetzungsanlage und Massenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

IHP GmbH hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Frankfurt (Oder) am 06.12.2018 vergeben, Zuschlag an PVA Metrology & Plasma Solutions GmbH und Thermo Fisher Scientific GmbH. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 935.000 €. Eingegangen: 1 Angebote je Los.

- Auftraggeber: [IHP GmbH](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh)
- Was: Labor- und Messtechnik: Gasphasenzersetzungsanlage und Massenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma
- Wo: Frankfurt (Oder), Brandenburg
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Lose: 2 Lose, einzeln anzubieten laut Bekanntmachung
- Zuschlag an: PVA Metrology & Plasma Solutions GmbH und Thermo Fisher Scientific GmbH
- Zuschlag am: 06.12.2018
- Summe: 935.000 €
- Angebote: 1 je Los

## Gewinner

- [PVA Metrology & Plasma Solutions GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/pva-metrology-plasma-solutions-gmbh), Wettenberg
- [Thermo Fisher Scientific GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/thermo-fisher-scientific-gmbh), Dreieich

## 2 Lose

- Los 1: Gasphasenzersetzungsanlage · [PVA Metrology & Plasma Solutions GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/pva-metrology-plasma-solutions-gmbh), Wettenberg
- Los 2: Massenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma · [Thermo Fisher Scientific GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/thermo-fisher-scientific-gmbh), Dreieich

## Leistungsumfang

Massenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma. Für ein hochauflösendes Magnetsektorfeld-Massenspektrometer mit induktiv gekoppelter Plasmaionenquelle (HR-ICPMS), das bei der IHP GmbH für automatisierte Verunreinigungsanalyse von Halbleiterproben installiert werden soll. Im HR-ICPMS werden flüssige Proben, kommend von einer Gasphasenzersetzungsanlage, analysiert. Gasphasenzersetzungsanlage. 1) Ätzmodul zum einseitigen Ätzen des Oxids auf der Si Scheibenoberfläche; 2) Scanmodul zum Aufsammeln und Abnehmen der Kontaminationen von der Si Scheibenoberfläche; 3) Roboter zum Transport der Si Scheiben von den Kassetten zu den Prozessmodulen und zurück; 4) Kassetten Station für 2 offene Si Scheiben Kassetten; 5) Rahmen zur partikelfreien Einhausung der Module.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 069447-2019

## Verlauf

- 13.02.2019: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat PVA Metrology & Plasma Solutions GmbH und Thermo Fisher Scientific GmbH erhalten, Summe 935.000 €.

## Weitere Zuschläge: Labor- und Messtechnik in Brandenburg

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## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Frankfurt (Oder)](https://vergabeweiser.de/region/brandenburg/frankfurt-oder): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [IHP GmbH](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 13.02.2019, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/069447-2019. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/gasphasenzersetzungsanlage-und-massenspektrometer-mit-induktiv-0694472019