# Fraunhofer IOF — E_066_249241— 3-Achsen-Positioniersystem für Lithographieanlage

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.… hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Jena am 23.07.2020 vergeben, Zuschlag an Aerotech GmbH. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
- Was: Maschinen und Geräte: Fraunhofer IOF — E_066_249241— 3-Achsen-Positioniersystem für Lithographieanlage
- Wo: Jena, Thüringen
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 8 Monate
- Zuschlag an: Aerotech GmbH
- Zuschlag am: 23.07.2020
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 1

## Gewinner

- [Aerotech GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/aerotech-gmbh), Fürth

## Leistungsumfang

Das Fraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik plant die Beschaffung zweier identischer 3-Achs-Positioniersysteme (im weiteren Kontext wird von der Einzahl gesprochen), die auf die anspruchsvollen Anforderungen für Lithographie auf vergleichsweise großen Flächen ausgelegt sind. Die Systeme sollen mit Fotolack beschichtete Substrate sehr präzise zu einem vom IOF spezifizierten Schreibkopf positionieren. In den Schreibkopf sollen zwei weitere Aktuatoren verbaut werden, die zwingend mit derselben Schnittstelle aber durchaus unterschiedlichen Instanzen angesteuert werden können. Im Speziellen handelt es sich hierbei um einen Piezoantrieb für eine Autofokusanwendung als auch eine miniaturisierte Drehachse für Mikrojustage im kleinen Winkelbereich. Das System soll in minimaler Zeit immer wieder Positionen anfahren und die Position sehr präzise halten (step and repeat) bis der einzelne Belichtungsschritt abgeschlossen ist. Bei Mehrfachüberfahren der kompletten Fläche (multipa

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: 256265-2020

## Verlauf

- 03.06.2020: Ausschreibung veröffentlicht
- 08.09.2020: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Aerotech GmbH erhalten.

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Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 08.09.2020, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/420019-2020. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/fraunhofer-iof-e-066-249241-3-achsen-positioniersystem-fuer-2562652020