# Fluor-Chargenätzer

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. hat den Auftrag für Forschung und Studien in Jena am 05.09.2018 vergeben, Zuschlag an SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 198.400 €. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/leibniz-institut-fuer-photonische-technologien-ev)
- Was: Forschung und Studien: Fluor-Chargenätzer
- Wo: Jena, Thüringen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: bis 31.05.2018
- Zuschlag an: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
- Zuschlag am: 05.09.2018
- Summe: 198.400 €
- Angebote: 1
- Originaltitel: Los 2 - Fluor-Chargenätzer

## Gewinner

- [SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/sentech-gesellschaft-fuer-sensortechnik-mbh), Krailling

## Leistungsumfang

Los 2 – Fluor-Chargenätzer ist die zweite von 4 Ausschreibungen des Forschungsprojektes „Innovative optische Gesundheitstechnologien basierend auf hocheffizienten und reproduzierbaren Mikrofluidik-Chips (OptoMikro)“. Es soll eine Plasmaätzanlage für die Übertragung von Mikrostrukturen für Chargenprozesse angeschafft werden. Die anzuschaffende Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit fluorhaltigen Gasen und Sauerstoff bzw. Gemischen davon ätzen lassen. — geplantes Lieferdatum: April/Mai 2019, — Wertungskriterien: technische Spezifikationen 70 %, Preis 30 %

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Öffentliche Ausschreibung (national)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
- CPV-Code: 73000000-2
- CPV-Bezeichnung: [Forschungs- und Entwicklungsdienste und zugehörige Beratung](https://vergabeweiser.de/cpv/73000000-forschungs-und-entwicklungsdienste-und-zugehoerige-beratung)
- Bekanntmachungs-ID: 258877-2018

## Verlauf

- 16.06.2018: Ausschreibung veröffentlicht
- 30.11.2018: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH erhalten, Summe 198.400 €.

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- [Öffentliche Ausschreibung](https://vergabeweiser.de/wissen/oeffentliche-ausschreibung): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 30.11.2018, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 01.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/527568-2018. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/fluor-chargenaetzer-2588772018