# Flexibel einsetzbare Atomlagen-Depositionssystem mit Plasmaunterstützung (PEALD)

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in TU-Ilmenau am 06.08.2020 vergeben, Zuschlag an Beneq Oy. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 575.000 €. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
- Was: Maschinen und Geräte: Flexibel einsetzbare Atomlagen-Depositionssystem mit Plasmaunterstützung (PEALD)
- Wo: TU-Ilmenau, Ilm-Kreis, Thüringen
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 24 Monate
- Zuschlag an: Beneq Oy
- Zuschlag am: 06.08.2020
- Summe: 575.000 €
- Angebote: 1

## Gewinner

- [Beneq Oy](https://vergabeweiser.de/unternehmen/beneq-oy), Espoo

## Leistungsumfang

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein flexibel einsetzbares Atomlagen-Depositionssystem mit Plasmaunterstützung (PEALD) für die atomlagengenaue Abscheidung dünner Filme von Metallen, Metall-Oxiden und -Nitriden sowie optional –Sulfiden definierter Stöchiometrie für Anwendungen als Tunnelbarrieren oder Elektroden in memristiven und kryoelektronischen Bauelementen, als Ferroelektrika und als 2D-Materialien sowie zur wissenschaftlichen Untersuchung der Abscheidemechanismen und zur Prozessentwicklung zu beschaffen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Wettbewerblicher Dialog (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 575.000 €
- Nachprüfung: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
- CPV-Code: 42900000-5
- CPV-Bezeichnung: [Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42900000-maschinen-fuer-allgemeine-und-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: 124149-2019

## Verlauf

- 18.03.2019: Ausschreibung veröffentlicht
- 12.08.2020: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Beneq Oy erhalten, Summe 575.000 €.

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Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 12.08.2020, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/378974-2020. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/flexibel-einsetzbare-atomlagen-depositionssystem-mit-1241492019