# FKF 2024-15 Maskenbelichtungsgerät

Zuschlag erteilt

Max-Planck-Institut für Festkörperforschung hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Stuttgart am 20.08.2024 vergeben. Wer den Zuschlag bekommen hat, steht nicht in der Bekanntmachung.

- Auftraggeber: [Max-Planck-Institut für Festkörperforschung](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/max-planck-institut-fuer-festkoerperforschung)
- Was: Labor- und Messtechnik: FKF 2024-15 Maskenbelichtungsgerät
- Wo: Stuttgart, Baden-Württemberg
- Wer kann anbieten: Der Auftraggeber verhandelt direkt mit ausgewählten Unternehmen.
- Zuschlag an: Gewinner nicht veröffentlicht
- Zuschlag am: 20.08.2024
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: nicht veröffentlicht

## Leistungsumfang

Für die zentrale Wissenschaftliche Einrichtung Nanostrukturlabor am Max-Planck-Institut für Festkörperforschung soll für Optische Lithographie ein neues Maskenbelichtungsgerät ('Mask-Aligner') beschafft werden. Dieser muss die folgenden Eigenschaften aufzuweisen:  UV-LEDs als Lichtquelle, wobei zur Belichtung der Wellenlängenbereich (i-, h- und g-Linie) wählbar und frei kombinierbar sein muss. Die Lichtintensität ist konstant zu halten.  Diverse Maskengrößen sind verwendbar: 3", 4", 6".  Die Belichtung von Substraten unterschiedlicher Formate muss möglich sein: von 4mm-auf-4mm Chip bis 6"-Wafer.  Es ist das Ausrichten auf Markierungen auf der Substratober- als auch Substratunterseite möglich.  Es stehen verschiedene Kontaktmodi zur Verfügung: 'Soft'-, 'Hard'-, 'Vacuum'- und 'Proximity'-Kontakt.  Der Keilfehlerausgleich geschieht automatisch. Der Abstand zwischen Maske und Substrat ist ggf. einstellbar.  Eine einfache 'Flood Exposure' muss möglich sein. Für dieses Basisgerät soll die Option der Erweiterung für 'Wafer Bonding' und 'Nano-imprint'-Lithographie bestehen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Vergabe ohne Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Max-Planck-Institut für Festkörperforschung
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 8e91efef-7831-4303-8a4a-888cd4376f76

## Verlauf

- 20.08.2024: Direktvergabe angekündigt

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Der Auftraggeber hat den Gewinner nicht veröffentlicht.

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## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Stuttgart](https://vergabeweiser.de/region/baden-wuerttemberg/stuttgart): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Max-Planck-Institut für Festkörperforschung](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/max-planck-institut-fuer-festkoerperforschung): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 20.08.2024, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=8e91efef-7831-4303-8a4a-888cd4376f76. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/fkf-2024-15-maskenbelichtungsgeraet-8e91efef