# FIB-SEM-System

Abgelaufen

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik in Elchingen ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 08.02.2024. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr)
- Was: Labor- und Messtechnik: FIB-SEM-System
- Wo: Elchingen, Ulm, Baden-Württemberg
- Bis wann: Angebotsfrist 08.02.2024, 14:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt. Für KMU geeignet laut Bekanntmachung.
- Vergabeunterlagen: https://www.subreport.de/E22812396
- Vergabeplattform: [subreport.de](https://vergabeweiser.de/plattform/subreport)

## Leistungsumfang

Im Innovationszentrum Ulm werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum in Zusammenarbeit von Industrie und DLR Quantenprozessoren auf Basis von negativ geladenen NV (nitrogen vacancy)-Zentren in Diamant gebaut. Für die Ausstattung dieses Reinraums werden Großgeräte beschafft, um die Entwicklung eines NV-Zentren-basierten Quantencomputers bestmöglich zu ermöglichen. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird ein FIB-SEM-System zur gezielten Erzeugung von NV-Zentren in Diamant, sowie zur Oberflächenbearbeitung und -untersuchung beschafft. Ziel ist es, NV-Zentren im Diamanten möglichst positionsgenau zu erzeugen. Das FIB-SEM-System vereint eine FIB (focused ion beam)-Einheit und eine SEM (scanning electron microscope)-Einheit in einem Gerät. Die FIB-Einheit wird sowohl zum gezielten Implantieren mit isotopenreinen Ionenarten bzw. Beschießen eines (Diamant-) Substrats mit Ionen als auch zur Erzeugung von kleinen Strukturen mit einer Größe im Mikro- bzw. Nanometerbereich an der Oberfläche des Substrats verwendet. Durch die SEM-Einheit können kleinste Oberflächenstrukturen in der Größenordnung von wenigen Nanometern abgebildet und dadurch charakterisiert werden. Erweitert wird der Funktionsumfang des Geräts durch ein Gas-Injektions-System (GIS) und einen energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDS)-Detektor. Das Gerät wird von einer wechselnden Nutzer-gruppe mit unterschiedlichem Erfahrungslevel genutzt. Beschaffungsgegenstand • Gerät gemäß Spezifikation inkl. Lieferung, Inbetriebnahme und Schulung • Service und Wartung gemäß Spezifikation Weitere Informationen zum Beschaffungsgegenstand sind den Vergabeunterlagen in Anlage 03_Leistungsbeschreibung zu entnehmen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer des Bundes
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 5eb020fc-a12c-4b44-ac21-ca89b6092205

## Verlauf

- 12.01.2024: Ausschreibung veröffentlicht

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [Quanten Frequenz Konverter](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/quanten-frequenz-konverter-19cbbd33) · Zuschlag 18.09.2026 an Einzelunternehmen aus Aachen · 2 Angebote
- [795nm Laser System](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/795nm-laser-system-9a1fa9f6) · Zuschlag 07.09.2026 an TOPTICA Photonics SE · 1 Angebot
- [Laserlithographie](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/laserlithographie-74b4b6a8) · Zuschlag 25.08.2026 an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH · 2 Angebote
- [Pikosekunden-Lasersystem mit variabler Pulsdauer](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/pikosekunden-lasersystem-mit-variabler-pulsdauer-6865ed63) · Zuschlag 31.03.2026 an APE Angewandte Physik und Elektronik GmbH · 1 Angebot
- [DRIE-Anlage](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/drie-anlage-024398be) · Zuschlag 23.03.2026 an Oxford Instruments GmbH · 1 Angebot
- [MOT Laser System](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/mot-laser-system-5b16e0d5) · Zuschlag 23.01.2026 an Einzelunternehmen aus Heraklion · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Ulm](https://vergabeweiser.de/region/baden-wuerttemberg/ulm): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 12.01.2024, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=5eb020fc-a12c-4b44-ac21-ca89b6092205. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/fib-sem-system-5eb020fc