# FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

Abgelaufen · Teilnahmewettbewerb

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut… hat einen Auftrag für Maschinen und Geräte in Berlin ausgeschrieben. Teilnahmeanträge waren bis 13.10.2026 möglich. Ergebnis noch nicht veröffentlicht.

- Auftraggeber: [Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ferdinand-braun-institut-ggmbh-leibniz-institut-fuer-hoechstfrequenztechnik)
- Was: Maschinen und Geräte: FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
- Wo: Berlin
- Bis wann: Teilnahmeantrag bis 13.10.2026, 23:59 Uhr
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 11.03.2027 bis 11.03.2028
- Vergabeunterlagen: https://vergabekooperation.berlin/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-19f1de955ae-2cb91dd38b6c0507
- Vergabeplattform: [vergabekooperation.berlin](https://vergabeweiser.de/plattform/vergabekooperation-berlin)

## Leistungsumfang

Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Rahmenvereinbarung: ja
- Nachprüfung: Vergabekammer des Landes Berlin
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: 9a80205f-f0b5-4b49-89a8-6cbb54e94cf4

## Verlauf

- 13.09.2026: Ausschreibung veröffentlicht

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [APECS 04.1 Extension of galvanic equipment](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/apecs-041-extension-of-galvanic-equipment-0d5740b3) · Zuschlag 26.10.2026 an ClassOne Technology GmbH · 1 Angebot
- [Ex-ante-Bekanntmachung - Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/ex-ante-bekanntmachung-lieferung-einer-teos-basierten-zusatzkammer-54e651ab) · Zuschlag 05.10.2026 an Oxford Instruments GmbH · 1 Angebot
- [Beschaffung von Hardware im Rahmen des Vorhabens BECCAL](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/beschaffung-von-hardware-im-rahmen-des-vorhabens-beccal-738b1065) · Zuschlag 10.08.2026 an Cicor Microtech AG · 1 Angebot
- [Ex-ante-Bekanntmachung - Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/ex-ante-bekanntmachung-lieferung-eines-advanced-alignment-microscope-6fd9534f) · Zuschlag 24.06.2026 an Raith B.V. · 1 Angebot
- [Beschaffung Gold,Platin;Palladium](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/beschaffung-goldplatinpalladium-fa1d838e) · Zuschlag 06.03.2026 an EMT Edelmetalltechnik GmbH · 1 Angebot
- [Koordinierungsaufgaben im European Quantum Flagship 2Jahre Laufzeit](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/koordinierungsaufgaben-im-european-quantum-flagship-2jahre-laufzeit-caba7c2d) · Zuschlag 16.01.2026 an Falling Walls Foundation gGmbH · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Berlin](https://vergabeweiser.de/region/berlin): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ferdinand-braun-institut-ggmbh-leibniz-institut-fuer-hoechstfrequenztechnik): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 13.09.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=9a80205f-f0b5-4b49-89a8-6cbb54e94cf4. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/fbh-012-ale-trockenaetzanlage-einschliesslich-nebenleistungen-9a80205f