# Entwicklung & Lieferung eines AFM-Systems mit kombinierter Translations-/Rotationsstage für die Gitterfertigung für das HZB.

Abgelaufen

Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB) hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik in Berlin ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 26.08.2024. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/helmholtz-zentrum-berlin-fuer-materialien-und-energie-gmbh-hzb)
- Was: Labor- und Messtechnik: Entwicklung & Lieferung eines AFM-Systems mit kombinierter Translations-/Rotationsstage für die Gitterfertigung für das HZB.
- Wo: Berlin
- Bis wann: Angebotsfrist 26.08.2024, 10:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 16.09.2024 bis 30.09.2025
- Vergabeunterlagen: https://www.subreport.de/E92258785
- Vergabeplattform: [subreport.de](https://vergabeweiser.de/plattform/subreport)

## Leistungsumfang

Die in der Arbeitsgruppe Präzisionsgitter (WI-APG) bestehenden vier AFM-Systeme sind essenziell für die Qualitäts- und Prozesskontrolle der Gitterfertigung und werden dauerhaft und parallel genutzt. Eines der bestehenden, manuellen Messsysteme („Hand AFM“ CO 404820) soll durch ein teilautomatisiertes System ersetzt werden, das sowohl in der Fertigung als auch für F&E-Untersuchungen zum Einsatz kommen soll. Die zu entwickelnde AFM-Stage kombiniert eine Translations- mit einer Rotationsstage, so dass mehrere Proben in einer Messreihe automatisiert gemessen werden können (Batch-Messung), während gleichzeitig die Probenrotation jeder einzelnen Probe bzgl. des Messkopfes automatisch korrigiert werden kann. Die Translations-/Rotationsstage soll die Arbeiten erleichtern, den Messaufwand verringern und somit eine Zeitersparnis einbringen. Bisher werden die Gitter-Teststücke (Waferstücke mit etwa 1 mm Höhe, die mit Unterlage gemessen werden) per Augenmaß ausgerichtet, anschließend einzeln manuell angefahren und gemessen. Gegebenenfalls ist eine Korrektur der Probenausrichtung und eine erneute Messung nötig. Das AFM-System mit Translations-/Rotationsstage ist hauptsächlich konzipiert, um mehrere (Wafer-) Teststücke mit Gitterstrukturen automatisiert zu messen: Nach einmaliger Lokalisierung der zu messenden Strukturen und entsprechender Zuweisung der Koordinaten sollen die Proben einzeln angefahren, der Rotationswinkel vom System korrigiert und die Messung durchgeführt werden. Mit dem neuen System sind auch weiterhin einzelne, einfache Messungen entsprechend des bisherigen Vorgehens möglich, z.B. wenn keine Rotationskorrektur erforderlich ist. Weiterhin soll das neue System Batch-Messungen an Gitterträgern mit und ohne Rotationskorrektur ermöglichen. Dabei sollen Gitterträger bis zu einer Höhe von 70 mm gemessen werden können. Generell soll die Möglichkeit bestehen, Proben bis zu einer Länge von ≥ 300 mm in das Messsystem einzulegen. Die messbare Probenlänge soll dabei ≥ 200 mm für Messungen mit und ohne Rotationskorrektur sein. Die messbare Probenbreite soll mindestens ≥ 120 mm betragen. Dadurch ist zusätzlich die Ausfallsicherheit in der Gitterproduktion erhöht, da kleinere Gitterträger an zwei AFM-Systemen automatisiert gemessen werden können.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Bindefrist: 35 Tage nach Angebotsfrist
- Nachprüfung: Bundeskartellamt - Vergabekammern des Bundes
- CPV-Code: 38514200-3
- CPV-Bezeichnung: Rastersondenmikroskope
- Bekanntmachungs-ID: cc1afeba-31cb-486a-ab1f-d38b207ca9b3

## Verlauf

- 25.07.2024: Ausschreibung veröffentlicht

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [HiPOLE – Oberflächenanalyseplattform](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/hipole-oberflaechenanalyseplattform-d3e53cd4) · Zuschlag 10.06.2026 an Anton Paar Germany GmbH · 1 Angebot
- [HiPOLE - Analytische Ultrazentrifuge](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/hipole-analytische-ultrazentrifuge-70ec1706) · Zuschlag 08.06.2026 an Beckman Coulter GmbH · 1 Angebot
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- [Wi-AOS - Plangittermonochromator NAP-LEEM-XPEEM (Bessy II+)](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/wi-aos-plangittermonochromator-nap-leem-xpeem-bessy-ii-75dfcdfb) · Zuschlag 25.03.2026 an Bestec GmbH · 1 Angebot
- [HiPOLE - Formulierungsplattform](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/hipole-formulierungsplattform-5bff3867) · Zuschlag 12.12.2025 an Chemspeed Technologies AG · 1 Angebot
- [Neubau Verfügungsgebäude 1. BA CatLab](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/neubau-verfuegungsgebaeude-1-ba-catlab-1ba52f64) · Zuschlag 08.12.2025 an Caverion Deutschland GmbH · 4 Angebote

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Berlin](https://vergabeweiser.de/region/berlin): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/helmholtz-zentrum-berlin-fuer-materialien-und-energie-gmbh-hzb): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 25.07.2024, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 05.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=cc1afeba-31cb-486a-ab1f-d38b207ca9b3. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/entwicklung-lieferung-eines-afm-systems-mit-kombinierter-translations-cc1afeba