# Elektronenstrahlverdampfer-System

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Stuttgart am 06.12.2024 vergeben, Zuschlag an Creavac GmbH. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr)
- Was: Labor- und Messtechnik: Elektronenstrahlverdampfer-System
- Wo: Stuttgart, Baden-Württemberg
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Zuschlag an: Creavac GmbH
- Zuschlag am: 06.12.2024
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 1

## Gewinner

- [Creavac GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/creavac-gmbh), Dresden

## Leistungsumfang

Für die Prozessierung von Halbleiterlaserdioden im Rahmen der Forschung und Entwicklung muss ein erprobtes System für das Elektronenstrahlverdampfen (ESV) beschafft werden. Hierbei muss das ESV-System in der Lage sein dünne Metallschichten für Materialabhebungsprozesse (Lift-Off) abzuscheiden. Das ESV-System muss in der Lage sein, entsprechenden Schichten im einer Auf-dampfrate im Bereich von Angström pro Sekunde abzuscheiden. Ebenso müssen die entspre-chenden Schichten sehr homogen mit einer hohen Reproduzierbarkeit abgeschieden werden kön-nen. Das ESV-System muss in der Lage sein, Reinigungs- und Anätzprozesse im Nanometer-Bereich durchführen zu können. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: ef2b8be0-d157-41f1-bee6-48ccadef4441

## Verlauf

- 19.09.2024: Ausschreibung veröffentlicht
- 14.12.2024: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Creavac GmbH erhalten.

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- [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 14.12.2024, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=94e2e567-7029-4a41-8bd9-6f600dade263. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/elektronenstrahlverdampfer-system-ef2b8be0