# Elektronenstrahl-Lithografieanlage

Zuschlag erteilt

Universität Duisburg-Essen hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Duisburg am 07.06.2022 vergeben, Zuschlag an Jeol (Germany) GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 1.585.000 €. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: [Universität Duisburg-Essen](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/universitaet-duisburg-essen)
- Was: Labor- und Messtechnik: Elektronenstrahl-Lithografieanlage
- Wo: Duisburg, Nordrhein-Westfalen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Zuschlag an: Jeol (Germany) GmbH
- Zuschlag am: 07.06.2022
- Summe: 1.585.000 €
- Angebote: 2

## Gewinner

- [Jeol (Germany) GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/jeol-germany-gmbh), Freising

## Leistungsumfang

Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Im ZHO wird zur Durchführung der Forschungsarbeiten eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO 14644-1) betrieben. Zur Untersuchung nanoskaliger Bauelemente wird eine höchstauflösende Elektronenstrahl-Lithografieanlage benötigt. Es soll eine Anlage beschafft werden, die den aktuellen Stand der Technik in Hinsicht auf maximale Auflösung und Positioniergenauigkeit darstellt. Die Anlage soll eine hohe Entwicklungsreife besitzen, die z.B. durch den Einsatz in Industrie und/oder Forschungsinstituten belegt werden kann. Ein hoher Automatisierungsgrad ist gefordert, um einen Mehrbenutzerbetrieb effektiv zu ermöglichen. Weitere Informationen entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer Rheinland
- CPV-Code: 38341100-8
- CPV-Bezeichnung: Elektronenstrahlaufzeichnungsgeräte
- Bekanntmachungs-ID: 183577-2022

## Verlauf

- 08.04.2022: Ausschreibung veröffentlicht
- 20.09.2022: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Jeol (Germany) GmbH erhalten, Summe 1.585.000 €.

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- [Ausschreibungen von Universitäten und Hochschulen](https://vergabeweiser.de/thema/hochschulen): Ausschreibungen und Zahlen
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 20.09.2022, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/512062-2022. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/elektronenstrahl-lithografieanlage-1835772022