# Electron-Beam Writer

Zuschlag erteilt

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.… hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Freiburg am 11.12.2018 vergeben, Zuschlag an Jeol (Germany) GmbH. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
- Was: Maschinen und Geräte: Electron-Beam Writer
- Wo: Freiburg, Freiburg im Breisgau, Baden-Württemberg
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 12 Monate
- Zuschlag an: Jeol (Germany) GmbH
- Zuschlag am: 11.12.2018
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 2

## Gewinner

- [Jeol (Germany) GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/jeol-germany-gmbh), Freising

## Leistungsumfang

Die Ausschreibung betrifft eine 100 kV Elektronenstrahl Direktschreib-Anlage (E-Beam) mit gaußförmigem Strahlprofil. Das System soll für Lithografie auf Substraten bis zu einer Größe von 150 mm eingesetzt werden. Wichtige Spezifikationen sind eine Justiergenauigkeit von 11 nm und ein Schreibfeld von 1x 1 mm2. Die Anlage soll ein Ladesystem für mindestens 10 Substrate und die Software einen Queue-Manager für die zugehörigen Schreib-Jobs beinhalten.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: 369826-2018

## Verlauf

- 24.08.2018: Ausschreibung veröffentlicht
- 14.12.2018: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Jeol (Germany) GmbH erhalten.

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## Von hier aus weiter

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- [Ausschreibungen der Fraunhofer-Gesellschaft](https://vergabeweiser.de/thema/fraunhofer): Ausschreibungen und Zahlen
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 14.12.2018, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/550157-2018. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/electron-beam-writer-3698262018