# Electron Beam Lithography system

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Karlsruher Institut für Technologie hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Eggenstein-Leopoldshafen am 19.12.2024 vergeben, Zuschlag an Raith B.V. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 2.984.850 €. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [Karlsruher Institut für Technologie](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/karlsruher-institut-fuer-technologie)
- Was: Labor- und Messtechnik: Electron Beam Lithography system
- Wo: Eggenstein-Leopoldshafen, Landkreis Karlsruhe, Baden-Württemberg
- Wer kann anbieten: Der Auftraggeber verhandelt direkt mit ausgewählten Unternehmen.
- Laufzeit: 16.12.2024 bis 01.06.2026
- Zuschlag an: Raith B.V.
- Zuschlag am: 19.12.2024
- Summe: 2.984.850 €
- Angebote: 1

## Gewinner

- [Raith B.V.](https://vergabeweiser.de/unternehmen/raith-bv), Best

## Leistungsumfang

Gegenstand dieser Ausschreibung ist die Lieferung eines "Electron Beam Lithography system"; eines Elektonenstrahlschreibers. Die Erzeugung von Mikro- und Nanostrukturen gehört zu den Grundanforderungen vieler im neu geplanten KCOP Gebäudes des KIT vertretenen Arbeitsgruppen. Die permanente und reibungslose Verfügbarkeit einer leistungsfähigen Elektronenlithographie ist daher unabdingbar. Deshalb soll eine 100kV Elektronenlithographieanlage (EBL) für das Karlsruhe Center for Optics and Photonics (KCOP) am KIT - Campus Nord, Eggenstein-L.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Vergabe ohne Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
- CPV-Code: 38341100-8
- CPV-Bezeichnung: Elektronenstrahlaufzeichnungsgeräte
- Bekanntmachungs-ID: 4bb962d4-e79e-4115-a73d-01ede71a4861

## Verlauf

- 26.01.2025: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Raith B.V. erhalten, Summe 2.984.850 €.

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- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 26.01.2025, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=4bb962d4-e79e-4115-a73d-01ede71a4861. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/electron-beam-lithography-system-4bb962d4