# Electron Beam Lithography System

Zuschlag erteilt

Technische Universität München, TUM Zentrum für QuantumEngineering hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik im Landkreis München am 10.10.2022 vergeben, Zuschlag an SEMTech Solutions, Inc. und Elionix, Inc. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 1.500.000 €. Eingegangen: 3 Angebote.

- Auftraggeber: Technische Universität München, TUM Zentrum für QuantumEngineering
- Was: Labor- und Messtechnik: Electron Beam Lithography System
- Wo: Landkreis München, Bayern
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 18 Monate
- Zuschlag an: SEMTech Solutions, Inc. und Elionix, Inc.
- Zuschlag am: 10.10.2022
- Summe: 1.500.000 €
- Angebote: 3

## Gewinner

- [SEMTech Solutions, Inc.](https://vergabeweiser.de/unternehmen/semtech-solutions-inc), North Billerica
- [Elionix, Inc.](https://vergabeweiser.de/unternehmen/elionix-inc), Tokyo

## Leistungsumfang

This call for tender is for the purchase of an electron beam lithography system for the nanofabrication of devices, chips, structures and patterns required for research purposes. The system must be able to expose electron-sensitive resists in specific CAD designed patterns. We require a turn-key solution including all required hardware, software and peripheral devices necessary for system operation. For a more detailled overview of our required specifications we refer you to the Performance Specifications document.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer Südbayern
- CPV-Code: 38511100-1
- CPV-Bezeichnung: [Rasterelektronenmikroskope](https://vergabeweiser.de/cpv/38511100-rasterelektronenmikroskope)
- Bekanntmachungs-ID: 417230-2022

## Verlauf

- 01.08.2022: Ausschreibung veröffentlicht
- 07.11.2022: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat SEMTech Solutions, Inc. und Elionix, Inc. erhalten, Summe 1.500.000 €.

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Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 07.11.2022, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 30.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/614249-2022. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/electron-beam-lithography-system-4172302022