# Dünnwafercleaner

Zuschlag erteilt

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.… hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Würzburg am 23.10.2018 vergeben, Zuschlag an EV Group E. Thallner GmbH. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
- Was: Maschinen und Geräte: Dünnwafercleaner
- Wo: Würzburg, Bayern
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 8 Monate
- Zuschlag an: EV Group E. Thallner GmbH
- Zuschlag am: 23.10.2018
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 2

## Gewinner

- [EV Group E. Thallner GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/ev-group-e-thallner-gmbh), Neuhaus am Inn

## Leistungsumfang

Die Spezifikation beschreibt eine Anlage zum Reinigen von Wafern mittels Lösungsmitteln. Die Anlage soll in der Lage sein Wafer mit Durchmessern von 200 mm und 300 mm in Standarddicken oder auch in stark gedünnter Form (50 μm oder dünner) reinigen zu können. Die Reinigung soll mittels Puddle und Spin-Off Prozessen unter Verwendung von temperiertem Lösungsmittel (DMSO basiert) erfolgen. Die Wafer müssen dabei auf einem drehbaren Chuck per Vakuumansaugung gehalten werden können wobei die Wafer mittels Sägefolie auf Trägerrahmen aufgespannt sein sollen. Das Lösungsmittel muss über eine temperierbare Zuleitung mit Temperaturen >50 oC auf die Wafer appliziert werden können. Zur Vermeidung einer zu schnellen Abkühlung des Lösungsmittels auf dem Wafer muss der drehbare Vakuumchuck ebenfalls auf Temperaturen >50 oC aktiv erwärmt werden können. Fortsetzung II.2.4) Beschreibung der Beschaffung:

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (national)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: 139325-2018

## Verlauf

- 30.03.2018: Ausschreibung veröffentlicht
- 25.10.2018: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat EV Group E. Thallner GmbH erhalten.

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## Von hier aus weiter

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- [Ausschreibungen der Fraunhofer-Gesellschaft](https://vergabeweiser.de/thema/fraunhofer): Ausschreibungen und Zahlen
- [Verhandlungsvergabe](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsvergabe): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 25.10.2018, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/470011-2018. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/duennwafercleaner-1393252018