# Dualbeam Xenon Plasma Focused Ion Beam

Zuschlag erteilt

Helmholtz-Zentrum Geesthacht Zentrum für Material… hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik im Kreis Herzogtum Lauenburg am 28.08.2019 vergeben, Zuschlag an FEI Deutschland GmbH. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 1.800.000 €.

- Auftraggeber: Helmholtz-Zentrum Geesthacht Zentrum für Material- und Küstenforschung GmbH
- Was: Labor- und Messtechnik: Dualbeam Xenon Plasma Focused Ion Beam
- Wo: Kreis Herzogtum Lauenburg, Schleswig-Holstein
- Wer kann anbieten: Der Auftraggeber verhandelt direkt mit ausgewählten Unternehmen.
- Zuschlag an: FEI Deutschland GmbH
- Zuschlag am: 28.08.2019
- Summe: 1.800.000 €
- Angebote: nicht veröffentlicht

## Gewinner

- [FEI Deutschland GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/fei-deutschland-gmbh), Dreieich

## Leistungsumfang

Electron Beam Optics and Control Schottky Field Emission source Imaging resolution: 1 nm Accelerating voltage: 350 V – 30 kV Ion Beam Optics and Control Ion source: Xe Plasma source Detection: ETD and ICE detectors Imaging resolution: < 20 nm Accelerating voltage: 2 kV to 30 kV Beam current: 1.5 pA to 2.5 μA in 20 steps Beam current stability: < 5 % of total beam current/hour Beam blanking Beam shift after aperture change: < 1 μm Detectors In-chamber detector(s) for secondary electron and secondary ion imaging In-lens TLD with SE and BSED Modes Elstar’s immersion mode with beam deceleration Back scattered detector ICE Detector 4 Channel detector amplifier Retractable STEM detector with imaging capability in BF, DF, HAADF modes Electron backscattered diffraction detector for orientation mapping Scan and Image Characteristics Continuous and single scans Averaged or integrated scans Magnification: roughly 50 to 200 kX, stepped and/or continuous Scan rotation Real-time image averaging.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Vergabe ohne Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 38511100-1
- CPV-Bezeichnung: [Rasterelektronenmikroskope](https://vergabeweiser.de/cpv/38511100-rasterelektronenmikroskope)
- Bekanntmachungs-ID: 410955-2019

## Verlauf

- 02.09.2019: Direktvergabe angekündigt

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat FEI Deutschland GmbH erhalten, Summe 1.800.000 €.

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## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen im Kreis Herzogtum Lauenburg](https://vergabeweiser.de/region/schleswig-holstein/kreis-herzogtum-lauenburg): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 02.09.2019, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/410955-2019. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/dualbeam-xenon-plasma-focused-ion-beam-4109552019