# DRIE etch cluster (Mainframe + 3 Chambers) (IPMS-MRS07.1; IPMS-MRS07.2; IPMS-MRS08.1; IPMS-MRS08.2) - PR882587-2480-P

Zuschlag erteilt

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Dresden am 22.12.2025 vergeben, Zuschlag an KLA Corporation. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Was: Maschinen und Geräte: DRIE etch cluster (Mainframe + 3 Chambers) (IPMS-MRS07.1; IPMS-MRS07.2; IPMS-MRS08.1; IPMS-MRS08.2) - PR882587-2480-P
- Wo: Dresden, Sachsen
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 23 Monate
- Zuschlag an: KLA Corporation
- Zuschlag am: 22.12.2025
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 2

## Gewinner

- [KLA Corporation](https://vergabeweiser.de/unternehmen/kla-corporation), Milpitas

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammern des Bundes
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: 3ccd425f-ce42-43a0-86ee-905740dd60e5

## Verlauf

- 13.04.2025: Ausschreibung veröffentlicht
- 19.07.2026: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat KLA Corporation erhalten.

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- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 19.07.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 30.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=170403e1-fba8-4233-9a2e-1deb5d89200f. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/drie-etch-cluster-mainframe-3-chambers-ipms-mrs071-ipms-mrs072-ipms-3ccd425f