# Deposition Tool 8 Inch

Abgelaufen

Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik in Garching ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 05.10.2026. Ergebnis noch nicht veröffentlicht.

- Auftraggeber: [Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/lehrstuhl-fuer-technische-physik-e23-tum)
- Was: Labor- und Messtechnik: Deposition Tool 8 Inch
- Wo: Garching, Landkreis München, Bayern
- Bis wann: Angebotsfrist 05.10.2026, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Vergabeunterlagen: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YZ8M7XK/documents
- Vergabeplattform: [dtvp.de](https://vergabeweiser.de/plattform/dtvp)

## Leistungsumfang

The Technical University of Munich - Chair of Technical Physics E23/WMI will acquire a UHV cluster System for the fabrication of superconducting circuits on 8 inch'' wafers. The system must provide UHV conditions and has to include an HV load-lock chamber, a central handling chamber, a UHV chamber for the evaporation of Al thin films, a UHV chamber for sputtering of superconductors, a UHV chamber for oxidation, a UHV chamber for Ar ion milling, and a flipping station. The system must allow metalizing both sides of the wafers in situ, with minimal backside particle contamination. The wafers should only be touched on the side (edge gripping).

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Bindefrist: 28 Tage nach Angebotsfrist
- Nachprüfung: Regierung von Oberbayern
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: b635f593-1b0a-4845-8a3f-6e8ade80f88d

## Verlauf

- 21.08.2026: Ausschreibung veröffentlicht

## Zuschläge: Labor- und Messtechnik in Bayern

- [DFG-AZ.: HO 7366/2-1 (A190) Amplified Yb:KGW Laser System und Broad band Mid-Infrared OPA](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/dfg-az-ho-73662-1-a190-amplified-ybkgw-laser-system-und-broad-band-mid-9d7c953b) · Deutsche Forschungsgemeinschaft e.V. · Zuschlag 22.10.2026 an Light Conversion UAB · 1 Angebot
- [Rasterelektronenmikroskop](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/rasterelektronenmikroskop-4d24b033) · Fraunhofer UMSICHT · Zuschlag 20.10.2026 an TESCAN GmbH · 2 Angebote
- [OP-Mikroskop mit Fluoreszenzbildgebung Zeiss Kinevo 900S](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/op-mikroskop-mit-fluoreszenzbildgebung-zeiss-kinevo-900s-5e0d5805) · LMU Klinikum (Klinikum der Ludwig-Maximilians-Universität München) · Zuschlag 03.09.2026 an Carl Zeiss Meditec Vertriebsgesellschaft mbH · 1 Angebot
- [Sequenzierplattform für humane Genom- und Transkriptomsequenzierungen](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/sequenzierplattform-fuer-humane-genom-und-transkriptomsequenzierungen-fbdd30f8) · Universität Regensburg als staatliche Einrichtung in Vertretung des Freistaates Bayern · Zuschlag 23.08.2026 an Roche Diagnostics Deutschland GmbH
- [2026 103 EU PicoQuant](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/2026-103-eu-picoquant-c4b0fb16) · Max-Planck-Insitut für Biochemie · Zuschlag 13.08.2026 an PicoQuant GmbH
- [Instrument für räumliche Multiomik](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/instrument-fuer-raeumliche-multiomik-809d64f3) · Bundesamt für Infrastruktur, Umweltschutz und Dienstleistungen der Bundeswehr · Zuschlag 12.05.2026 an Lunaphore Technologies SA · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen im Landkreis München](https://vergabeweiser.de/region/bayern/landkreis-muenchen): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/lehrstuhl-fuer-technische-physik-e23-tum): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 21.08.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=b635f593-1b0a-4845-8a3f-6e8ade80f88d. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/deposition-tool-8-inch-b635f593