# Delivery, Installation and Commissioning of a thin film sputter deposition tool.

Zuschlag erteilt

Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V. hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Dresden am 24.10.2017 vergeben. Wer den Zuschlag bekommen hat, steht nicht in der Bekanntmachung.

- Auftraggeber: [Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/helmholtz-zentrum-dresden-rossendorf-ev)
- Was: Maschinen und Geräte: Delivery, Installation and Commissioning of a thin film sputter deposition tool.
- Wo: Dresden, Sachsen
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Zuschlag an: Gewinner nicht veröffentlicht
- Zuschlag am: 24.10.2017
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: nicht veröffentlicht

## Leistungsumfang

A planetary sputter-up system with base vacuum better than 3x10-8 mbar. The system should consist of 5-6 sample holder positions for sputter deposition including 4 single 3 inch magnetron guns with 4 DC + 2 RF power supplies and 1 confocal cluster with 4 magnetrons for 2 inch targets each, with 4 DC and 2 RF power supplies, one optional spare deposition position for later upgrades. If power supplies for 2 and 3 inch guns are identical and inter-changeable then a total of 7 DC and 3 RF power supply units for all 8 sputter sources will be sufficient. Max. power for DC power supplies is 1 kW. The magnetrons with water cooling and individual gas inlets should be able to sputter also ferromagnetic materials. Many window ports and additional ports where possible for optional upgrades and extensions and additionally a user-friendly software for automated operation (e.g. for multilayer-deposition) should be included.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (national)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 500.000 €
- Nachprüfung: Vergabekammer des Bundes
- CPV-Code: 31640000-4
- CPV-Bezeichnung: [Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion](https://vergabeweiser.de/cpv/31640000-maschinen-apparate-und-geraete-mit-eigener-funktion)
- Bekanntmachungs-ID: 186206-2017

## Verlauf

- 18.05.2017: Ausschreibung veröffentlicht
- 03.11.2017: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Der Auftraggeber hat den Gewinner nicht veröffentlicht.

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## Von hier aus weiter

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- [Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/helmholtz-zentrum-dresden-rossendorf-ev): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Verhandlungsvergabe](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsvergabe): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 03.11.2017, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/438131-2017. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/delivery-installation-and-commissioning-of-a-thin-film-sputter-1862062017