# Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V. hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Dresden am 09.06.2026 vergeben, Zuschlag an SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/helmholtz-zentrum-dresden-rossendorf-ev)
- Was: Labor- und Messtechnik: Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher
- Wo: Dresden, Sachsen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 14 Monate
- Zuschlag an: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
- Zuschlag am: 09.06.2026
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 1

## Gewinner

- [SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/sentech-gesellschaft-fuer-sensortechnik-mbh), Krailling

## Leistungsumfang

The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical Intelligence. It will also offer near vertical sidewall profile of etched via's in Si, SiC as well as 2D materials, like graphene and MoS2. Beside the fulfilment of the criteria described under 2. Performance quote of this Annex A, the scope of deliveries and services includes and are part of the offer: - delivery at the place of usage according to DPU Dresden (Incoterms 2020) Place of usage: - the machine must be capable of operating in a cleanroom environment (ISO Class 6) with the sample loaded in an ISO class 4 / 5 environment. - the footprint, technical drawings, electrical drawings must be supplied in the documentation - user documentation in English and German - delivery, installation and SAT must be possible until 01 June 2027 - warranty of at least two years - place of performance: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.; Ion Beam Center, building 711/ room 105; Bautzner Landstraße 400; 01328 Dresden - SAT in the cleanroom at the Ion Beam Center, building 711/ room 105. The main body of the tool will be located in a ISO Class 6 service area, the loadlock and control PC will be located in a ISO Class 4 / ISO Class 5 cleanroom - CE-marking

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Bindefrist: 60 Tage nach Angebotsfrist
- Nachprüfung: Vergabekammer des Bundes
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: da04575b-4e67-4410-8f47-d94c8152ac2a

## Verlauf

- 26.03.2026: Ausschreibung veröffentlicht
- 11.06.2026: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH erhalten.

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## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Dresden](https://vergabeweiser.de/region/sachsen/dresden): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/helmholtz-zentrum-dresden-rossendorf-ev): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 11.06.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 30.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=2c8cf295-5684-4148-84df-59e7273a6d31. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/deep-reactive-ion-etching-drie-si-fluorine-chemistry-etcher-da04575b