# Clustertool für Strukturierung von III/V Halbleiter

Abgelaufen

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik in Frankfurt (Oder) ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 06.08.2021. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-leibniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik)
- Was: Labor- und Messtechnik: Clustertool für Strukturierung von III/V Halbleiter
- Wo: Frankfurt (Oder), Brandenburg
- Bis wann: Angebotsfrist 06.08.2021, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 1 Monat
- Vergabeunterlagen: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYVX/documents
- Vergabeplattform: [vergabemarktplatz.brandenburg.de](https://vergabeweiser.de/plattform/vergabemarktplatz-brandenburg)

## Leistungsumfang

200 mm Wafer-8 port Mainframe mit integriertem cooldown Modul ausgestattet mit: a) 1 x Trockenätzkammer für Strukturierung von III/V-Halbleitermaterialien (siehe Punkt 3), b) 1 x Trockenätzkammer für Oxid / Nitrid (siehe Punkt 4), c) 1 x Trockenätzkammer für Metallschichten (Hauptanwendung Ti/TiN/Al; sihe Punkkt 5), d) 1 x Stripkammer für Entfernung von Photolack (siehe Punkt 6).

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 3.200.000 €
- Nachprüfung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 345623-2021

## Verlauf

- 09.07.2021: Ausschreibung veröffentlicht

## Weitere Zuschläge

- [Softwarepaket für den Entwurf von Höchstfrequenz- und Mikrowellenschaltungen](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/softwarepaket-fuer-den-entwurf-von-hoechstfrequenz-und-4194a2cc) · IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Zuschlag 09.09.2026 an Keysight Technologies Deutschland GmbH · 1 Angebot
- [300 mm Photonics Prober station and Optical test and measurement system](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/300-mm-photonics-prober-station-and-optical-test-and-measurement-8ed17781) · IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Zuschlag 30.01.2026 an Cascade Microtech GmbH und Keysight Technologies Deutschland GmbH · 1–2 Angebote je Los
- [Broadband vector network analyzer (VNA) system](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/broadband-vector-network-analyzer-vna-system-5ef2a9d4) · IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Zuschlag 20.01.2026 an Keysight Technologies Deutschland GmbH · 1 Angebot
- [IRMS](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/irms-16bb9f43) · Brandenburgische Technische Universität Cottbus - Senftenberg · Zuschlag 08.12.2025 an Elementar Analysensysteme GmbH · 2 Angebote
- [Beschaffung von Controllereinheiten](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/beschaffung-von-controllereinheiten-1c4fd2ec) · Stadtwerke Cottbus GmbH · Zuschlag 27.11.2025 an ABB AG · 1 Angebot
- [Isotopenmassenspektrometer](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/isotopenmassenspektrometer-1666284d) · Leibniz-Zentrum für Agrarlandschaftsforschung (ZALF) e.V. · Zuschlag 06.10.2025 an Thermo Fisher Scientific GmbH · 2 Angebote

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Frankfurt (Oder)](https://vergabeweiser.de/region/brandenburg/frankfurt-oder): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-leibniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 09.07.2021, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 03.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/345623-2021. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/clustertool-fuer-strukturierung-von-iiiv-halbleiter-3456232021