# Cluster-Trockenätzanlage

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. hat den Auftrag für Maschinen und Geräte im Schwarzwald-Baar-Kreis am 19.09.2022 vergeben, Zuschlag an Oxford Instruments GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 990.000 €. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.
- Was: Maschinen und Geräte: Cluster-Trockenätzanlage
- Wo: Schwarzwald-Baar-Kreis, Baden-Württemberg
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 10 Monate
- Zuschlag an: Oxford Instruments GmbH
- Zuschlag am: 19.09.2022
- Summe: 990.000 €
- Angebote: 1

## Gewinner

- [Oxford Instruments GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/oxford-instruments-gmbh), Wiesbaden

## Leistungsumfang

Cluster Trockenätzanlage für die Strukturierung von Aluminium- und Aluminiumnitrid-Schichten. Zur Strukturierung dieser Schichten muss in die Prozesskammer ein entsprechender Chlorätzprozess implementiert werden.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 990.000 €
- Nachprüfung: Vergabekammer Baden-Württemberg im Regierungspräsidium Karlsruhe
- CPV-Code: 31712100-1
- CPV-Bezeichnung: [Mikroelektronische Maschinen und Geräte](https://vergabeweiser.de/cpv/31712100-mikroelektronische-maschinen-und-geraete)
- Bekanntmachungs-ID: 388459-2022

## Verlauf

- 18.07.2022: Ausschreibung veröffentlicht
- 31.10.2022: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Oxford Instruments GmbH erhalten, Summe 990.000 €.

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## Von hier aus weiter

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- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 31.10.2022, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/602262-2022. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/cluster-trockenaetzanlage-3884592022