# Cluster tool mit PECVD- und Trockenätzkammer

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Frankfurt (Oder) am 16.02.2020 vergeben, Zuschlag an SPTS Technologies Limited. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 2.727.578 €. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-leibniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik)
- Was: Labor- und Messtechnik: Cluster tool mit PECVD- und Trockenätzkammer
- Wo: Frankfurt (Oder), Brandenburg
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 1 Monat
- Zuschlag an: SPTS Technologies Limited
- Zuschlag am: 16.02.2020
- Summe: 2.727.578 €
- Angebote: 1

## Gewinner

- [SPTS Technologies Limited](https://vergabeweiser.de/unternehmen/spts-technologies-limited-wales), Wales

## Leistungsumfang

1 cluster tool bestehend aus Transportmodul mit der Möglichkeit, insgesamt 6 Prozesskammern zu installieren für 200 mm wafer; ausgestattet mit einer Kammer für Tiefe Si-Ätzen (siehe Pkt. 2) und einer PECVD Kammer (siehe Pkt. 3); Möglichkeit nachträglich 4 weitere Kammern zu installieren.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 2.750.000 €
- Nachprüfung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 553626-2019

## Verlauf

- 22.11.2019: Ausschreibung veröffentlicht
- 15.05.2020: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat SPTS Technologies Limited erhalten, Summe 2.727.578 €.

## Weitere Zuschläge

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## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Frankfurt (Oder)](https://vergabeweiser.de/region/brandenburg/frankfurt-oder): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-leibniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 15.05.2020, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/226695-2020. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/cluster-tool-mit-pecvd-und-trockenaetzkammer-5536262019