# Cluster Tool for Nanomaterials

Zuschlag erteilt

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.… hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Chemnitz am 19.11.2019 vergeben, Zuschlag an VON ARDENNE GmbH. Eingegangen: 3 Angebote.

- Auftraggeber: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
- Was: Maschinen und Geräte: Cluster Tool for Nanomaterials
- Wo: Chemnitz, Sachsen
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 12 Monate
- Zuschlag an: VON ARDENNE GmbH
- Zuschlag am: 19.11.2019
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 3

## Gewinner

- [VON ARDENNE GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/von-ardenne-gmbh), Dresden

## Leistungsumfang

The planned acquisition comprises a cleanroom compatible cluster tool for sputter deposition and rapid thermal annealing of composite films and multilayers stacks for nanotechnological devices on 200 mm substrates. The main application of the tool is concentrated on film based nanotechologies with a special focus on metal-oxide based devices. The tool should consist of a central handling module, a magazine load lock and two process chambers, which allows the single wafer handling between the process chambers without vacuum break. For the sputter chamber intended materials are metals, e.g. Al, metal oxides and nitrides, e.g. TiO2, Ta2O5, TiN, perovskites, e.g. BiFeO3, YMnO3, semiconductors, e.g. Si, Ge, IGZO, as well as piezoelectric materials for NEMS, e.g. AlN. Therefore, a confocal sputter source arrangement of at least 3 sources in combination with a rotating substrate are necessary. The substrate table should have a heating functionality up to 600 oC with an allowed temperature

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: 281642-2019

## Verlauf

- 18.06.2019: Ausschreibung veröffentlicht
- 11.12.2019: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat VON ARDENNE GmbH erhalten.

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## Von hier aus weiter

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- [Ausschreibungen der Fraunhofer-Gesellschaft](https://vergabeweiser.de/thema/fraunhofer): Ausschreibungen und Zahlen
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 11.12.2019, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 30.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/586431-2019. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/cluster-tool-for-nanomaterials-2816422019