# Chemisch-Mechanische Poliermaschine (CMP) – Projekt ForLab

Zuschlag erteilt

Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in TU Ilmenau am 10.08.2020 vergeben, Zuschlag an Struers GmbH. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 204.700 €. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
- Was: Maschinen und Geräte: Chemisch-Mechanische Poliermaschine (CMP) – Projekt ForLab
- Wo: TU Ilmenau, Ilm-Kreis, Thüringen
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Zuschlag an: Struers GmbH
- Zuschlag am: 10.08.2020
- Summe: 204.700 €
- Angebote: 2

## Gewinner

- [Struers GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/struers-gmbh), Willich

## Leistungsumfang

Im Rahmen des Projektes ForLab NSME wird eine Prozesslinie zur Fertigung neuromorpher Elektronik aufgebaut. Innerhalb dieser Prozesslinie wird eine chemisch-mechanische Polieranlage (CMP) zur Planarisierung der Prozesstopografie benötigt. Diese soll den Aufbau komplexer Systemarchitekturen im Materialsystem Nb/SiO2 mit einer Vielzahl von Aufbauebenen ermöglichen. Sie ist darüber hinaus Voraussetzung für die heterogene (back-end) Integration der Technologie auf CMOS-prozessierten Wafern. Bei beiden Prozessen müssen störende Topographieeffekte reduziert werden, um die angestrebte Performance zu erreichen. Weiterhin muss die Anlage geeignet sein, quadratische LTCC-Substrate mit Schichtaufbauten z. B. aus Aluminiumnitrid zu planarisieren.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Nicht offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
- CPV-Code: 42000000-6
- CPV-Bezeichnung: [Industrielle Maschinen](https://vergabeweiser.de/cpv/42000000-industrielle-maschinen)
- Bekanntmachungs-ID: 186038-2020

## Verlauf

- 22.04.2020: Ausschreibung veröffentlicht
- 25.08.2020: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Struers GmbH erhalten, Summe 204.700 €.

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- [Nicht offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/nicht-offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 25.08.2020, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 01.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/398249-2020. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/chemisch-mechanische-poliermaschine-cmp-projekt-forlab-1860382020