# Beschichtungsanlage mit konfogalen Magnetron-Quellen

Zuschlag erteilt

Westsächsische Hochschule Zwickau hat den Auftrag für Maschinen und Geräte im Landkreis Zwickau am 15.07.2022 vergeben, Zuschlag an Leybold GmbH. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 350.875 €. Eingegangen: 5 Angebote.

- Auftraggeber: [Westsächsische Hochschule Zwickau](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/westsaechsische-hochschule-zwickau)
- Was: Maschinen und Geräte: Beschichtungsanlage mit konfogalen Magnetron-Quellen
- Wo: Landkreis Zwickau, Sachsen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 21.06.2022 bis 30.09.2023
- Zuschlag an: Leybold GmbH
- Zuschlag am: 15.07.2022
- Summe: 350.875 €
- Angebote: 5

## Gewinner

- [Leybold GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/leybold-gmbh), Köln

## Leistungsumfang

Die Westsächsische Hochschule Zwickau beabsichtigt für Lehre und Forschung und den Kauf einer Beschichtungsanlage mit konfokalen Magnetron-Quellen. Anforderungen an die Gesamtanlage und Steuerung 1.1 Prozesskammer mit drei Sputterquellen und einer Ionenquelle 1.2 Schleuse mit Einzelsubstrat (Carrier) 1.3 Automatischer Rezeptablauf (Quellsteuerung, Bewegungssteuerung, Shuttersteuerung….) 1.4 Bei Multischichten müssen für jede Einzelschicht Zeit- und Quellleistungen vorgebbar sein (z.B. über ascii-Tabelle) 1.5 Protokollierung wesentlicher Prozessparameter (Drücke, elektrische Parameter der Quellen, Bewegungen, …) 1.6 Substratanforderungen • Durchmesser bis 150mm • Dicke bis 50mm (Mindestanforderung: 30mm) • Masse bis 1,5kg 1.7 Vakuum- und Prozessgasanforderungen • Vakuumerzeugung mit trockenlaufenden Pumpen • Prozesskammer: pEnd <10-6 mbar nach 24h Pumpzeit • Schleusenkammer: pEnd <10-5 mbar • Prozessgase: Ar, O2, N2 (für jedes Gerät jeweils einen eigenen Kanal) 1.8 Beschichtungsquellen • Konzentrische Anordnung von 3 zirkularen Beschichtungsquellen (Anordnung möglichst senkrecht zur Substratoberfläche und unter möglichst geringem Abstand) • Targetgröße: rund 100mm Durchmesser • Quellen 1 und 2: DC Magnetrons, die prinzipiell auch mit RF-Anregung betrieben werden können (d.h. Verwendung koaxialer Kabel); DC-Leistungsversorgungen: mind. 1kW, stabile Entladung mit Ar bis 1.10-3 mbar möglich • Quelle 3: RF-Magnetron; Leistungsversorgung: f=13,56 MHz, Pmax = 1,2…..1,5 kW • Grundausstattung mit folgenden Targetmaterialien: Al, Ti, Si mit Reinheiten ≥ 3N und Targetdicken = 5-6mm 1.9 Ätzquelle • RF-Ionenquelle, die auf den konfokalen Punkt der Anlage ausgerichtet ist 1.10 Substratbewegung • Eigenrotation mit f=1Hz • (Manuelle) Einstellung des Abstandes zwischen Substratmittelpunkt und konfokalem Punkt der Sputterquellen

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 460.504 €
- Nachprüfung: Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: 235462-2022

## Verlauf

- 04.05.2022: Ausschreibung veröffentlicht
- 27.07.2022: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Leybold GmbH erhalten, Summe 350.875 €.

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Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 27.07.2022, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/409079-2022. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/beschichtungsanlage-mit-konfogalen-magnetron-quellen-2354622022