# Beschaffung einer vielfältig einsetzbaren Argon-Ionenätzanlage zur REM-Probenpräparation mit Zubehör

Zuschlag erteilt

Universität Siegen hat den Auftrag für Maschinen und Geräte im Kreis Siegen-Wittgenstein am 03.07.2024 vergeben, Zuschlag an Hitachi High-Tech Europe GmbH.

- Auftraggeber: [Universität Siegen](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/universitaet-siegen)
- Was: Maschinen und Geräte: Beschaffung einer vielfältig einsetzbaren Argon-Ionenätzanlage zur REM-Probenpräparation mit Zubehör
- Wo: Kreis Siegen-Wittgenstein, Nordrhein-Westfalen
- Wer kann anbieten: Der Auftraggeber verhandelt direkt mit ausgewählten Unternehmen.
- Zuschlag an: Hitachi High-Tech Europe GmbH
- Zuschlag am: 03.07.2024
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: nicht veröffentlicht

## Gewinner

- [Hitachi High-Tech Europe GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/hitachi-high-tech-europe-gmbh), Krefeld

## Leistungsumfang

Beschaffung einer vielfältig einsetzbaren Argon-Ionenätzanlage mit umfangreichem Zubehör zur Präparation höchstqualitativer Aufsicht- und Querschnittsproben für die Rasterelektronenmikroskopie (REM). Die Ionenätzanlage wird für die Präparationslabore des hochschulzentralen, DFG-geförderten Gerätezentrums für Mikro- und Nanoanalytik (MNaF) im INCYTE-Forschungsneubau der Universität Siegen beschafft und steht den Mitgliedern der Naturwissenschaftlich-Technischen und Lebenswissenschaftlichen Fakultäten wie auch hochschulexternen MNaF-Nutzern (Forschungseinrichtungen, Industrie) und den universitären Forschungszentren, dem Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), dem Center for Micro- and Nanochemistry and Engineering (Cμ), dem Center for Innovative Materials (Cm) zur Verfügung. Das Präparationsgerät dient in den Forschungsschwerpunkten der Materialwissenschaften, der Bauelementforschung sowie der Forschung an biologischen Proben der Präparation von großflächigen Aufsichts-/Querschnitts-REM-Proben höchster Güte für weiterführende mikro- und nanoanalytische Messungen mittels REM- und Rastersondenmethoden. Die an der Universität adressierten Materialien und zu präparierenden Proben reichen von metallischen Werkstoffen der additiven Fertigung sowie Kompositwerkstoffen mit äußerst heterogenen und komplexen Gefügen über teils hochreaktive/umgebungsempfindliche Energiewandler/-speicher und verwandte Bauelemente zu integrierten Halbleiterbauelementen und Sensorprototypen. Biologische Proben wie eingebettete Insekten und organische Beschichtungen werden in der Biochemie adressiert. Aufgrund der Probenvielfalt am Gerätezentrum soll eine remote zu betreibende, hocheffiziente und im Betrieb möglichst günstige (Verbrauchsmittel, Verschleißteile) Ionenätzanlage mit möglichst breitem Einsatzspektrum beschafft werden, die die Präparation von Proben höchster Oberflächengüte z.B. für EBSD-Messungen aller adressierten kristallinen Proben erlaubt; darunter fallen vor allem auch hochreaktive/strahlempfindliche Werkstoffe am für solche Probenarten spezialisierten MNaF. - Das zu beschaffende Geräte verfügt daher nicht nur über eine umfangreiche Ausrüstung für die Probenaufnahme, Masken sowie notwendiges Zubehör für die Präparation höchst unterschiedlicher Probenarten und -geometrien (Volumen-/Folienproben) für die Aufsicht- und Querschnittspräparation. - Es erlaubt zudem die schnelle cryogene Kühlung der Proben mittels flüssigen Stickstoffs sowie den Vakuumtransfer von Proben in eine Inertgas-Glovebox, um solche Proben weiter zu Prozessieren oder aus der Glovebox möglichst schädigungsfrei in die Ionenätzanlage einzubringen. - Für die in Siegen untersuchten Bauelemente und komplexen Strukturwerkstoffe z.B. der additiven Fertigung mit Strukturvariationen auf der mm- und cm-Skala sind möglichst große realisierbare Präparationsflächen(mind. 30mm sowohl im Querschnitt wie auch in Aufsicht ) gefordert, - die in einem breiten Energiebereich mit großer Geschwindigkeit abgetragen und bei niedrigen Ionenenergien unterhalb 1 kV poliert werden können. - Für die systematische automatisierte Präparation von Probenserien z.B in Industrieprojekten ist des Weiteren die Serienpräparation von mindestens 5 Proben mit einer Gerätebeladung gefordert, um den Personalaufwand beim Probenwechsel zu reduzieren und Arbeitsabläufe zu optimieren. - Eingebettete Standard-REM-Proben mit Durchmessern von bis zu 2“ Standardmaß müssen zur Oberflächen-Nachpolitur ins Gerät eingebracht werden können.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Vergabe ohne Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: a831dc8f-d553-4f0f-ac48-9faa916775e2

## Verlauf

- 03.07.2024: Direktvergabe angekündigt

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Hitachi High-Tech Europe GmbH erhalten.

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Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 03.07.2024, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=a831dc8f-d553-4f0f-ac48-9faa916775e2. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/beschaffung-einer-vielfaeltig-einsetzbaren-argon-ionenaetzanlage-zur-a831dc8f