# Beschaffung einer chemisch-mechanischen Polieranlage

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft hat den Auftrag für Maschinen und Geräte im Landkreis München vergeben (Bekanntmachung vom 07.02.2024). Wer den Zuschlag bekommen hat, steht nicht in der Bekanntmachung. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/halbleiterlabor-der-max-planck-gesellschaft-garching-bei-muenchen)
- Was: Maschinen und Geräte: Beschaffung einer chemisch-mechanischen Polieranlage
- Wo: Landkreis München, Bayern
- Wer kann anbieten: Der Auftraggeber verhandelt direkt mit ausgewählten Unternehmen.
- Zuschlag an: Gewinner nicht veröffentlicht
- Zuschlag am: 07.02.2024
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 1

## Leistungsumfang

Die Anlage soll geeignet sein, um Wafer mit verschiedenen topographischen Schichten, wie z.B. Silizium, Siliziumoxid, Wolfram, etc. zu planarisieren und zu polieren. Es muss sich um eine vollautomatische Anlage mit vollständiger Integration aller notwendigen Komponenten, wie Polier-, Reinigungs- & Trockeneinheit handeln, sogenanntes Dry in/Dry out. Aufgrund der Verwendung von doppelseitig prozessierten Wafern muss der Transport innerhalb der Anlage mit einem rückseitenschonendem Handlingssystem von Ein- zu Ausgabekassette erfolgen. Die einzelnen Prozessmodule müssen ebenfalls möglichst rückseitenschonend ausgeführt sein. Die Anlage muss zur Bearbeitung sowohl von 6- als auch 8-Zoll Wafern geeignet sein. Ein dazu eventueller Umbau muss vom Benutzer möglichst einfach durchführbar sein und darf nicht länger als 3 Arbeitstage in Anspruch nehmen. Die Anlage muss möglichst kompakt sein und darf wegen des vorhandenen Reinraumplatzes ein Flächenmaß von 2,5 x 2,5 m² nicht überschreiten. Eine Secs/Gem Schnittstelle muss vorhanden sein. Außerdem muss ein Barcodescanner mitgeliefert werden.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Vergabe ohne Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft
- CPV-Code: 31720000-9
- CPV-Bezeichnung: Elektromechanische Ausrüstung
- Bekanntmachungs-ID: 2a71d94c-07d3-4e65-b83f-108f5cf3890b

## Verlauf

- 07.02.2024: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Der Auftraggeber hat den Gewinner nicht veröffentlicht.

## Weitere Zuschläge: Maschinen und Geräte in Bayern

- [Originalersatzteile Klima BR408](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/originalersatzteile-klima-br408-67972e4f) · Deutsche Bahn AG Konzernleitung · Zuschlag 19.01.2026 an Behrendt GmbH und 3 weitere · 4 Angebote
- [RV Montageleistung Sekundärtechnik Strom](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/rv-montageleistung-sekundaertechnik-strom-c3c4a659) · SWM Services GmbH · Zuschlag 22.12.2025 an BKW Anlagentechnik GmbH und 2 weitere · 3 Angebote
- [Single-Unterflur-Radsatz-Drehmaschine (inkl. erforderlicher Peripherie) für die DB Regio AG](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/single-unterflur-radsatz-drehmaschine-inkl-erforderlicher-peripherie-5c38f2cc) · DB Regio AG · Zuschlag 18.12.2025 an HEGENSCHEIDT-MFD GmbH · 1 Angebot
- [Lieferung von Kabelverteilerkästen](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-von-kabelverteilerkaesten-f349db54) · Allgäuer Überlandwerk GmbH · Zuschlag 09.12.2025 an EBG electro GmbH · 2 Angebote
- [Fertigung und Lieferung von stationären Bleibatterien Typ OPzV 420-1000 Ah](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/fertigung-und-lieferung-von-stationaeren-bleibatterien-typ-opzv-420-5cb36534) · TenneT TSO GmbH · Zuschlag 21.11.2025 an HOPPECKE Service GmbH & Co. KG und Triathlon System GmbH
- [Quantum Computing Control System - PR142705-2270-W](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/quantum-computing-control-system-pr142705-2270-w-522f44eb) · Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Zuschlag 23.01.2023 an Zurich Instruments AG und 4 weitere · 2–3 Angebote je Los

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen im Landkreis München](https://vergabeweiser.de/region/bayern/landkreis-muenchen): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/halbleiterlabor-der-max-planck-gesellschaft-garching-bei-muenchen): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 07.02.2024, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

Fehler melden: https://vergabeweiser.de/fehler-melden?seite=https%3A%2F%2Fvergabeweiser.de%2Fausschreibung%2Fbeschaffung-einer-chemisch-mechanischen-polieranlage-2a71d94c

---
Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=2a71d94c-07d3-4e65-b83f-108f5cf3890b. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/beschaffung-einer-chemisch-mechanischen-polieranlage-2a71d94c