# Beschaffung einer Atomic Layer Deposition Anlage

Zuschlag erteilt

Deutsche Forschungsgemeinschaft e. V., Zentrale Beschaffungsstelle hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Universität Tübingen am 16.07.2018 vergeben, Zuschlag an Picosun Oy. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 169.000 €. Eingegangen: 4 Angebote.

- Auftraggeber: Deutsche Forschungsgemeinschaft e. V., Zentrale Beschaffungsstelle
- Was: Maschinen und Geräte: Beschaffung einer Atomic Layer Deposition Anlage
- Wo: Universität Tübingen, Baden-Württemberg
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 3 Monate
- Zuschlag an: Picosun Oy
- Zuschlag am: 16.07.2018
- Summe: 169.000 €
- Angebote: 4

## Gewinner

- [Picosun Oy](https://vergabeweiser.de/unternehmen/picosun-oy), ESPOO

## Leistungsumfang

Es wird beabsichtigt, ein Atomic Layer Deposition System zu erwerben. Zur Verwendung durch mehrere Forschungsgruppen muss das System einen möglichst flexiblen Betrieb zulassen. Standardmäßig soll zunächst der abwechselnde/parallele Betrieb mit Precursoren zur thermischen Abscheidung von Al2O3, TiO2 und ZnO möglich sein, ohne Umbaumaßnahmen beim Wechsel der Precursoren. Längerfristig ist zusätzlich die Abscheidung von SiO2 (sowie der Einsatz temperaturempfindlicher Substrate) geplant. Das System muss daher, wenn nicht direkt beinhaltet, für eine zukünftige Aufrüstung mit einer remote Plasma- oder Ozon-Quelle, sowie die zusätzlich benötigten Precursoren vorbereitet sein. Das Vakuumsystem muss entsprechend mit einer Fomblin- oder Trockenpumpe für den Betrieb mit O2 ausgestattet sein. Für den flexiblen Einsatz muss die Probenkammer mind. für Substrate von 100 mm x 50 mm ausgelegt sein und einen Temperaturbereich von Raumtemperatur bis 350 oC abdecken.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (national)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer des Bundes
- CPV-Code: 42000000-6
- CPV-Bezeichnung: [Industrielle Maschinen](https://vergabeweiser.de/cpv/42000000-industrielle-maschinen)
- Bekanntmachungs-ID: 004611-2018

## Verlauf

- 06.01.2018: Ausschreibung veröffentlicht
- 18.07.2018: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Picosun Oy erhalten, Summe 169.000 €.

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- [Verhandlungsvergabe](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsvergabe): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 18.07.2018, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/310670-2018. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/beschaffung-einer-atomic-layer-deposition-anlage-0046112018