# Belacker i-line

Zuschlag erteilt

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.… hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Duisburg am 09.10.2018 vergeben, Zuschlag an SUSS Microtec Lithography GmbH. Eingegangen: 4 Angebote.

- Auftraggeber: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
- Was: Maschinen und Geräte: Belacker i-line
- Wo: Duisburg, Nordrhein-Westfalen
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 5 Monate
- Zuschlag an: SUSS Microtec Lithography GmbH
- Zuschlag am: 09.10.2018
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 4

## Gewinner

- [SUSS Microtec Lithography GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/suss-microtec-lithography-gmbh), Garching b. München

## Leistungsumfang

Das Fraunhofer IMS benötigt einen neues oder generalüberholtes („refurbished“) „Belackersystem“. Das System ermöglicht die Belackung von 8‘‘ (200 mm) Wafern mit verschiedenen Fotolacken und die Entwicklung dieser Lacke gemäß der Spezifikationen, welche im „Lastenheft“ aufgeführt sind. Die Wafer werden automatisch durch einen Robot-Handler von mindestens zwei Kassetten beladen. Das Gerät beinhaltet alle Heiz- und Kühlplatten für die nötigen Trocknungs-, Kühl- und Ausbackschritte ebenso wie eine HMDS-Platte. Der Lackdispense soll mithilfe von Pumpen realisiert werden. Der Prozess beinhaltet „edge bead removal – EBR“ und „backside rinse – BSR“. Der Lack wird auf der Entwicklerstation mittels „Puddledispense“ des geeigneten Lösemittels entwickelt. Die Anlage beinhaltet eine Software, welche sowohl einen automatischen (operating) als auch manuellen (engineering) Modus für die Belackung und Entwicklung von Wafern erlaubt.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (national)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: 028075-2018

## Verlauf

- 20.01.2018: Ausschreibung veröffentlicht
- 18.10.2018: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat SUSS Microtec Lithography GmbH erhalten.

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- [Ausschreibungen der Fraunhofer-Gesellschaft](https://vergabeweiser.de/thema/fraunhofer): Ausschreibungen und Zahlen
- [Verhandlungsvergabe](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsvergabe): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 18.10.2018, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/456497-2018. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/belacker-i-line-0280752018