# Automatischer Waferprober

Zuschlag erteilt

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.… hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Duisburg am 11.12.2018 vergeben, Zuschlag an SUSS Microtec Lithography GmbH. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
- Was: Labor- und Messtechnik: Automatischer Waferprober
- Wo: Duisburg, Nordrhein-Westfalen
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 10 Monate
- Zuschlag an: SUSS Microtec Lithography GmbH
- Zuschlag am: 11.12.2018
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 2

## Gewinner

- [SUSS Microtec Lithography GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/suss-microtec-lithography-gmbh), Garching b. München

## Leistungsumfang

Fraunhofer IMS requires a new or refurbished fully automated wafer bonding system. In this system 8" (200 mm) wafers with different surface material (silicon oxide or silicon nitride) can be bonded together by a direct fusion bond according to the specifications below. The bond process can be performed under atmosphere or under controlled vacuum (< le-5 mbar) with the possibility to encapsulate a gas (N2, Ar, etc.) under a specific pressure. In this wafer bonder the wafers are loaded automatically by a robot handler from at least 2 cassettes. The whole system contains at least 1 cleaning module, 1 plasma activation module, 1 fully automated bond aligner, 1 bond chamber and a wafer handling system. Further specifications for each module are given below. The wafer bonder includes software which offers different user access levels for operating and engineering level. Bonding recipes for each wafer must be selectable individually.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (national)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 38540000-2
- CPV-Bezeichnung: [Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen](https://vergabeweiser.de/cpv/38540000-maschinen-und-geraete-zum-pruefen-und-messen)
- Bekanntmachungs-ID: 100468-2018

## Verlauf

- 07.03.2018: Ausschreibung veröffentlicht
- 06.02.2019: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat SUSS Microtec Lithography GmbH erhalten.

## Weitere Zuschläge: Labor- und Messtechnik in Nordrhein-Westfalen

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## Von hier aus weiter

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- [Ausschreibungen der Fraunhofer-Gesellschaft](https://vergabeweiser.de/thema/fraunhofer): Ausschreibungen und Zahlen
- [Verhandlungsvergabe](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsvergabe): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 06.02.2019, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/057539-2019. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/automatischer-waferprober-1004682018