# Automatic E_Beam Spin Coating and Developing Cluster — E_005_236618 ChrPat-KauAnj - IAF

Zuschlag erteilt

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.… hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Freiburg am 19.10.2020 vergeben, Zuschlag an SUSS Microtec Lithography GmbH. Eingegangen: 5 Angebote.

- Auftraggeber: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
- Was: Maschinen und Geräte: Automatic E_Beam Spin Coating and Developing Cluster — E_005_236618 ChrPat-KauAnj - IAF
- Wo: Freiburg, Freiburg im Breisgau, Baden-Württemberg
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 01.04.2021 bis 30.04.2021
- Zuschlag an: SUSS Microtec Lithography GmbH
- Zuschlag am: 19.10.2020
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 5

## Gewinner

- [SUSS Microtec Lithography GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/suss-microtec-lithography-gmbh), Garching b. München

## Leistungsumfang

The tender offer applies to an automatic spin coating/developing cluster for semiconductor processing. The system will be used in the framework of electro beam lithography processes on 3“ and 100 mm wafers. The configuration of the cluster includes modules for spin coating and resist developing, 3 hotplates, 1 coolplates, syringe dispense system, video alignment, roboter handler and 4 I/O stations.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: 281177-2020

## Verlauf

- 17.06.2020: Ausschreibung veröffentlicht
- 16.12.2020: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat SUSS Microtec Lithography GmbH erhalten.

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Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 16.12.2020, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/606976-2020. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/automatic-e-beam-spin-coating-and-developing-cluster-e-005-236618-2811772020