# ALD-Anlage

Zuschlag erteilt

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Jena am 18.09.2026 vergeben, Zuschlag an SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 456.249 €. Eingegangen: 5 Angebote.

- Auftraggeber: [Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/leibniz-institut-fuer-photonische-technologien-ev)
- Was: Labor- und Messtechnik: ALD-Anlage
- Wo: Jena, Thüringen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 28.08.2026 bis 05.09.2027
- Zuschlag an: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
- Zuschlag am: 18.09.2026
- Summe: 456.249 €
- Angebote: 5

## Gewinner

- [SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/sentech-gesellschaft-fuer-sensortechnik-mbh-krailing), Krailing

## Leistungsumfang

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 461.344 €
- Bindefrist: 40 Tage nach Angebotsfrist
- Nachprüfung: Thüringer Landesverwaltungsamt / Geschäftsstelle der Vergabekammer
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 22a26e70-1067-4fad-b072-a791fe675075

## Verlauf

- 08.07.2026: Ausschreibung veröffentlicht
- 09.08.2026: Ausschreibung veröffentlicht · Verlängerung der Angebotsfrist bis 25.08.2026, 13:00 Uhr
- 26.08.2026: Ausschreibung veröffentlicht
- 22.09.2026: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH erhalten, Summe 456.249 €.

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- [Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/leibniz-institut-fuer-photonische-technologien-ev): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 22.09.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=9024fc15-8a5d-4cf3-aac2-1ad94598a71d. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/ald-anlage-22a26e70