# Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Abgelaufen · Teilnahmewettbewerb

Ruhr-Universität Bochum (RUB) hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik in Bochum ausgeschrieben. Teilnahmeanträge waren bis 14.09.2026 möglich. Ergebnis noch nicht veröffentlicht.

- Auftraggeber: [Ruhr-Universität Bochum (RUB)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ruhr-universitaet-bochum-rub)
- Was: Labor- und Messtechnik: Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
- Wo: Bochum, Nordrhein-Westfalen
- Bis wann: Teilnahmeantrag bis 14.09.2026, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Vergabeunterlagen: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNYH7D2XQ/documents
- Vergabeplattform: [evergabe.nrw.de](https://vergabeweiser.de/plattform/evergabe-nrw)

## Leistungsumfang

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Wettbewerblicher Dialog (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 1.024.000 €
- Nachprüfung: Vergabekammer Westfalen
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: b750304c-da88-45ba-b95f-4b3656e001d8

## Verlauf

- 13.08.2026: Ausschreibung veröffentlicht

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [RV Einsammlung und Entsorgung von gemischten Siedlungsabfällen und Altpapier](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/rv-einsammlung-und-entsorgung-von-gemischten-siedlungsabfaellen-und-b4d6810d) · Zuschlag 23.10.2026 an USB Service GmbH · 2 Angebote je Los
- [Forschungsgroßgerät Verzahnungsmesszentrum](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/forschungsgrossgeraet-verzahnungsmesszentrum-509ea66c) · Zuschlag 20.10.2026 an KLINGELNBERG GmbH · 1 Angebot
- [\[Name entfernt\]](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/name-entfernt-ed075e12) · Zuschlag 25.09.2026 an Einzelunternehmen aus San Francisco · 1 Angebot
- [Rahmenvertrag Bürodrehstühle](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/rahmenvertrag-buerodrehstuehle-a37079e7) · Zuschlag 03.09.2026 an Dauphin Human Design Group GmbH & Co. KG · 1 Angebote je Los
- [Software-Modul](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/software-modul-6c011efe) · Zuschlag 01.09.2026 an Einzelunternehmen aus Charlottesville · 1 Angebot
- [Marktorientierte Beschaffung für und Belieferung von RLM- und SLP-Abnahmestellen mit Erdgas ab 2027](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/marktorientierte-beschaffung-fuer-und-belieferung-von-rlm-und-slp-0ba03a30) · Zuschlag 23.03.2026 an enercity AG · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Bochum](https://vergabeweiser.de/region/nordrhein-westfalen/bochum): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Ruhr-Universität Bochum (RUB)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ruhr-universitaet-bochum-rub): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen von Universitäten und Hochschulen](https://vergabeweiser.de/thema/hochschulen): Ausschreibungen und Zahlen
- [Vergabearten](https://vergabeweiser.de/wissen/vergabearten): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 13.08.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 04.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=b750304c-da88-45ba-b95f-4b3656e001d8. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/aetzanlage-zum-tiefen-silicium-aetzen-fuer-mems-b750304c