# Abscheideanlage für amorphe und mikrokristalline Siliziumschichtsysteme.

Zuschlag erteilt

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.… hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Duisburg am 16.10.2018 vergeben, Zuschlag an Applied Materials South East Asia Pte Ltd. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
- Was: Maschinen und Geräte: Abscheideanlage für amorphe und mikrokristalline Siliziumschichtsysteme.
- Wo: Duisburg, Nordrhein-Westfalen
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 4 Monate
- Zuschlag an: Applied Materials South East Asia Pte Ltd
- Zuschlag am: 16.10.2018
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 2

## Gewinner

- [Applied Materials South East Asia Pte Ltd](https://vergabeweiser.de/unternehmen/applied-materials-south-east-asia-pte-ltd), Singapore

## Leistungsumfang

Das Fraunhofer IMS benötigt ein neues oder generalüberholtes („refurbished“ PECVD-System zur Abscheidung von amorphem Silizium, Siliziumdioxid und Siliziumnitrid. In diesem PECVD-System werden 8“ (200 mm) Wafer nach den im "Lastenheft" aufgeführten Spezifikationen prozessiert. Die Wafer werden automatisch durch einen Robot-Handler von Kassette beladen. Das System soll vom Hersteller als “through the wall” im Reinraum am IMS installiert werden und muss den CMOS-kompatiblen Reinraumbedingungen (class 10) entsprechen. Das Fraunhofer IMS bereitet den Reinraum für die System-Installation vor. Weiter bei II.2.4).

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (national)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: 274132-2017

## Verlauf

- 15.07.2017: Ausschreibung veröffentlicht
- 18.10.2018: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Applied Materials South East Asia Pte Ltd erhalten.

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- [Ausschreibungen der Fraunhofer-Gesellschaft](https://vergabeweiser.de/thema/fraunhofer): Ausschreibungen und Zahlen
- [Verhandlungsvergabe](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsvergabe): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 18.10.2018, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/456584-2018. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/abscheideanlage-fuer-amorphe-und-mikrokristalline-2741322017